泛半导体先进材料及核心部件制造基地项目在昆山开发区投资10亿元建设,将专注于半导体蚀刻、液晶面板刻蚀制程用静电卡盘,以及半导体用氧化钇等陶瓷材料等前沿装备的研发与制造
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2025年8月深圳国际会展中心
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