边调试边生产！科友半导体碳化硅衬底产能加速释放

科友第三代半导体产学研聚集区项目大楼

据悉，科友第三代半导体产学研聚集区项目由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司（简称科友半导体）与哈尔滨新区共同投资10亿元建设，将打造包括技术开发、装备设计等在内的全产业链的科技成果转化及产业化应用研究集聚区，并以哈尔滨为总部，打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心、成为黑龙江省第三代半导体材料研发及装备制造的新高地。从2021年7月正式开工以来，始终抢抓工期，短短一年多时间，就完成了项目一期2万平方米厂区的建设。

科友半导体成立于2018年，是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制造、器件设计、技术转移和科研成果转化的国家级高新技术企业，具备解决我国在高端装备和衬底材料制造上“卡脖子”问题的超强实力。目前，科友半导体研制的碳化硅感应长晶炉已实现99%的部件国产化替代，电阻式长晶炉也具备投产条件。在碳化硅晶体生长方面，科友半导体在6英寸碳化硅单晶厚度上突破40毫米，达到国内领先。同时，在长晶周期、生产成本、晶体良率等方面已经达到并保持国际同行业先进水平。作为数字经济发展底盘支撑，科友半导体大尺寸碳化硅衬底材料广泛应用在5G通讯、新能源汽车、芯片制造、照明光源等领域。

生产设备整齐摆放

“科友第三代半导体产学研聚集区项目是哈尔滨新区大力优化营商环境，吸引高学历、高层次海外人才归国创业的典型范例；是新区夯实数字经济硬实力，着力打造四大经济引擎，落实自创区创新发展的具体体现。”哈尔滨新区招商集团副总经理陶冠宇介绍说，项目筹划至今，哈尔滨新区给予了“保姆式”护航，从项目谋划、融资、审批、建设等全过程做好全方位保障工作。两年来，哈尔滨新区支持科友半导体圆满举办了两届国际半导体峰会，创立了中俄第三代半导体研究院、获批黑龙江省新型研发机构、哈尔滨市中外联合创新中心，有力推动了黑龙江省半导体行业的快速发展。目前，哈尔滨新区积极帮助企业谋划下一阶段发展，对企业提出的新的土地需求，已经提前介入，超前服务。

在采访中记者了解到，科友第三代半导体产学研聚集区的建成投用，将使科友半导体以更高的长晶良率、更快的长晶速度、更低的长晶成本，弄潮第三代半导体行业。“目前生产车间里已经安装完100台长晶炉，后续还要安装100台。预计全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。”科友半导体副总经理段树国告诉记者，科友第三代半导体产学研聚集区将继续深耕第三代半导体材料和装备领域，努力实现碳化硅材料从提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的全产业链闭合，成为行业内顶尖的材料端全闭合企业。按照企业发展规划，未来两年科友半导体将实现年产20至30万片碳化硅衬底的产能，致力成为全球第三代半导体关键材料供应商之一。