4月27日,第二届动力电池复合集流体大会在苏州举行,广东汇成真空副总经理李志方在会上发表“PVD技术助力复合集流体降本增效”主题演讲。
PVD一步法在3.0~4.5μmPET/PP直接镀铜1μm,无需使用化学电镀等湿法工艺,仅通过干法工艺便可一次完成双面铜膜,减少其他生产环节,提高良率,实现增效。
当前主流——两步法:复合铜箔RTR PVD溅射铜+化学电镀增厚1μm
HCVAC通过磁控溅射靶设计、电子束增强离子清洗装置、超低温镀膜、卷对卷真空镀膜设备设计等PVD工艺技术,改善箔材穿孔状况、提高铜膜结合力、提升产能,极大提升生产效率,进一步增强下游电池厂与车企导入设备的信心。
目前,HCVAC研发的复合铜箔 PVD 磁控溅射卷绕镀膜设备,实现在厚度3.0~4.5μm、幅宽600~1650mm PET/PP等塑料薄膜表面一次完成双面镀铜膜,设备工艺走速0.5-30m/min。从复合铜箔领域来看,目前HCVAC磁控溅射设备已实现量产,完全能满足市场需求。
一步法:复合铝箔RTR PVD蒸发铝膜1μm
HCVAC通过自主研发PVD RTR蒸发镀铝膜技术,超薄复合铝箔 PVD 蒸发卷绕镀膜设备,实现在厚度4.5~6.0μm、幅宽600~1700mm PET/PP塑料薄膜表面一次完成双面蒸镀铝膜,设备工艺走速10-100m/min,攻克大规模快速蒸发沉积厚铝膜难关。
广东汇成真空科技股份有限公司是一家研发、生产和销售PVD镀膜设备、光学镀膜设备、卷绕镀膜设备、连续式镀膜设备、半导体PVD/ALD设备等真空应用解决方案的国家高新技术企业,国家工信部授予“专精特新‘小巨人’”企业称号,成立广东省博士工作站,取得多项发明、外观设计、实用新型专利和版权著作权。
来源:HCVAC广东汇成真空科技股份
原文始发于微信公众号(锂电产业通):PVD技术革新助力复合集流体降本增效