7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。
会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，微纳院二期项目正式封顶，一批半导体项目现场签约，为南海半导体产业发展注入“芯”动能。据介绍，平台建成后，将具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力。
活动现场，苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、广州市鸿利秉一光电科技有限公司等12家企业、科研院所签约入驻半导体材料外延与表征中试平台。将分别为合作企业提供提供外延定制、表征测试及全流程中试流片、技术咨询等多种中试服务。
依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段。
当前广东微纳院已构建了‘一核五园多要素’平台格局，除了中试平台通线及二期项目封顶外，研究院将推进三期项目规划，持续配备更多半导体产业相关设备，引进培育一批半导体上下游产业企业，打造成半导体全链条产业服务平台。
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：广东微纳院中试平台正式通线
