2024年7月15日，沈阳富创精密设备股份有限公司（富创精密，证券代码：688409）发布公告称，拟以现金方式收购公司实际控制人郑广文、公司第一大股东沈阳先进制造技术产业有限公司、北京亦芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）、辽宁中德产业股权投资基金合伙企业（有限合伙）、阮琰峰、天津芯盛企业管理咨询合伙企业（有限合伙）、中泰富力科技发展有限公司和辽宁和生中富股权投资基金合伙企业（有限合伙）8名交易对方持有的北京亦盛精密半导体有限公司100%股权。本次交易正在进行审计评估，交易金额尚未确定，预计不超过8亿元。交易完成后，亦盛精密将成为富创精密的全资子公司。
亦盛精密聚焦国内主流12英寸晶圆厂客户，可提供以硅、碳化硅、石英为基材的非金属零部件耗材、铝等金属材料为基材的金属零部件耗材和晶圆厂核心部件的维修、循环清洗和涂层再生服务，亦盛精密部分产品已通过国内主流12英寸晶圆厂客户先进制程工艺认证，并实现量产出货。
亦盛精密是国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业，是中国集成电路零部件创新联盟、北京集成电路学会、中关村芯链集成电路制造产业联盟核心成员单位。目前在北京拥有15,000平方米的办公厂房、180余名员工，具备不同产品和服务的产能专线，已申请89项专利，已获授权专利69项。亦盛精密于2017年作为牵头单位承担国家“02重大专项”之“关键零部件研发及产业化——硅/碳化硅复合材料零件的研制与产业化”项目，并顺利验收。通过多年研发和积累，亦盛精密具备针对晶圆厂金属零部件耗材的快速仿真设计及开发能力，针对晶圆厂非金属零部件耗材的设计和精密机械加工、高洁净表面处理及清洁、碳化硅烧结及化学气相沉积等材料工艺研发与制造能力，目前已对国内主流逻辑、存储、功率器件的12英寸晶圆厂客户实现覆盖，累计完成了近1,800种不同材质零部件耗材的国产化验证配套。在后端维护及再生服务方面，亦盛精密对部分主流12英寸晶圆厂提供驻场服务，通过对晶圆厂使用后的核心零部件提供循环清洗、致密耐腐蚀陶瓷涂层再生等服务以及对晶圆厂使用的主流品牌真空泵提供维修保养，延长零部件使用寿命，降低晶圆厂运营成本。此外，亦盛精密联合上海浦宸私募投资基金合伙企业（有限合伙）设立合资公司“上海亦富亦创半导体科技有限公司”，基于上海集成电路战略发展需求，拟围绕陶瓷材料研发中心及先进制程核心零部件的技术研发及产业化项目进行投资建设，投资项目已经开展规划设计。
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