陶瓷因其良好的耐高温、耐腐蚀、热导率高、机械强度高、热膨胀系数(CTE)与芯片材料匹配等特性,在电子封装中得到广泛应用。随着电子封装技术发展,对器件的可靠性、气密性和成本等提出了更高要求。目前市场上的三维陶瓷基板主要包括:

1)高温/低温共烧陶瓷基板(HTCC/LTCC),采用多层叠压共烧工艺,可制备出含腔体的多层陶瓷基板。
2)多层电镀增厚陶瓷基板。利用电镀增厚技术制备含金属围坝的三维陶瓷基板;

3)采用有机胶将金属镂空板和陶瓷基板粘接,得到含金属围坝的三维陶瓷基板。

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激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺
打孔是激光在HTCC和LTCC以及DPC等三维封装基板制作过程中应用最多的工艺加工方式。使用激光打孔机将上下两面基板打通,作为上下板面连通的路径,实现陶瓷基板上/下表面垂直互联,可实现电子器件三维封装与集成。
1.激光打孔的原理
激光打孔的原理是利用激光器发出具有聚集的激光束,沿着通孔边缘将连续分布的光脉冲发射到生瓷带上,激光能量将有机物及陶瓷材料进行汽化,从而形成一个通孔。激光打孔机钻孔针对不同的陶瓷材料会使用红外、绿光、紫外、CO2等不同波段激光束照射材料表面,每发出一次雷射脉冲就有一部分材料被烧灼掉。
激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺
图 陶瓷基板激光高速钻孔机,来源:德中技术
激光打孔的整个流程包括激光加工的四个关键阶段:
①首先是光能转换为热能,实现对工件材料的无损加热;
②其次是材料的熔化、蒸发和汽化;
③再次是溅射和去除过程;
④最后是激光作用的终止和加工区域的快速冷凝。
2.激光打孔的优势
与机械打孔相比,激光钻孔拥有很多优势,可以实现更高的分辨率和更小的加工孔径,拥有加工精度更高、打孔速度快、对多种材料的适用性、非接触式操作、不存在刀具磨损,经济效应更好、应用领域广的优点。
激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺
随着激光加工设备性能的提升和控制系统智能化的发展,激光打孔技术将向着更精细化、高效率和低成本的方向发展,预计其在微细加工领域的应用将会越来越广泛。
11月22-23日,第二届陶瓷封装产业论坛将于石家庄举办,届时,德中技术战略发展与市场总监张卓将带来《超快激光AOD技术颠覆HTCC/LTCC精密钻孔》主题报告演讲,欢迎各位行业朋友与会交流!
推荐活动:【邀请函】第二届陶瓷封装产业论坛(11月22-23日·石家庄)
第二届陶瓷封装产业论坛
The 2nd Ceramic Packages Industry Forum

2024年11月22-23日

河北·石家庄
河北翠屏山迎宾馆
HeBei Cuipingshan Guesthouse

地址:石家庄市鹿泉区迎宾馆街8号

一、会议议程

 

会议签到

11月21日

14:00-18:00

会议签到

11月22日

07:30-08:45

会议签到

会议报告

会主席兼报告嘉宾主持人杉 研究员 中国电子科技集团公司第13研究所

11月22日

时间

演讲主题

演讲嘉宾

08:45-09:00

开场

艾邦创始人 江耀贵

09:00-09:30

系统级封装(SiP)用陶瓷基板技术研发与产业化

华中科技大学 教授/武汉利之达科技 创始人 陈明祥

09:30-10:00

超快激光AOD技术颠覆HTCC/LTCC精密钻孔

德中(天津)技术 战略发展与市场总监 张卓

10:00-10:30

茶歇

10:30-11:00

厚薄膜混合型HTCC工艺技术的开发

六方钰成 董事长 刘志辉

11:00-11:30

高可靠封装的机遇与挑战

睿芯峰 副总经理 陈陶

11:30-12:00

电子封装陶瓷基板流延成型工艺及装备

河北东方泰阳 总经理 吴昂

12:00-13:30

午餐

13:30-14:00

基于陶瓷材料在半导体器件封装技术领域的应用

北京大学东莞光电研究院 郑小平 研究员/项目总监

14:00-14:30

B-Stage胶与芯片等温空腔封装工艺设备及其特点

佛大华康 高级工程师 刘荣富

14:30-15:00

薄膜技术在电子封装中的应用

七星华创微电子 工程师 任凯

15:00-15:30

Ceramic seed layer metallization 陶瓷种子层金属化工艺技术

友威科技 经理 林忠炫

15:30-16:00

茶歇

16:00-16:30

无铅玻璃浆料在陶瓷和半导体封接中的应用

上海越融科技 总经理 崔炜 博士

16:30-17:00

高性能氮化硅陶瓷产业技术和应用发展现状

中材高新氮化物陶瓷 首席专家 张伟儒

17:00-17:30

信诺超分散剂在粉体材料纳米化及氮化硅陶瓷浆料中的应用

嘉智信诺 董事长 陈永康

17:30-18:00

高品质氮化硅粉体燃烧合成技术新进展

中国科学院理化技术研究所/中科新瓷 高级工程师/总经理 杨增朝

18:00-21:00

答谢晚宴

11月23日

时间

演讲主题

演讲嘉宾

09:00-09:30

传感器技术的发展及陶瓷封装的应用趋势

郑州中科集成电路与系统应用研究院 先进封测中心主管 周继瑞

09:30-10:00

钙钛矿型铁电介质陶瓷开发及应用 电子科技大学 唐斌 教授

10:00-10:30

陶瓷材料的玻璃连接工艺及机理研究 长春工业大学 副院长 朱巍巍

10:30-11:00

封接玻璃粉的开发与应用 天力创 项目经理 于洪林

11:00-11:30

集成电路陶瓷封装外壳仿真设计 电子科技大学 研究员 邢孟江

11:30-13:30

午餐

赞助&参会报名请联系李小姐:18124643204(同微信)

激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺

 

赞助及支持企业:

激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺

二、报名方式

方式一:加微信

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激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺

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原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):激光打孔——三维封装陶瓷基板的关键工艺

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作者 gan, lanjie