在无线通信技术方面，BAW作为滤波器发挥着重要的作用。对于5G和下一代通信系统，BAW滤波器的需求进一步增长，2023年市场规模已过100亿美元。同时，随着物联网、智能家居等应用的兴起，也对BAW滤波器提出需求。
目前，随着5G新频段的提出，以及基站小型化趋势，体声波滤波器向着宽带化，高频化方向发展。
针对通信频段的未来发展趋势，杭州树芯电子科技有限公司 联合 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 共同开发出9.6％掺钪、20％掺钪、30％掺钪氮化铝FBAR全流程工艺。该FBAR工艺流程基于自主研发的工艺体系，基于三种不同压电薄膜的工艺路线于近期正式通线。
滤波器OM图
产品FIB切片图
目前已通线9.6％掺钪、20％掺钪、30％掺钪氮化铝产品可以分别达到10％、15％、20％的Kt2，并且实现2GHz-4GHz内不同频率范围，属于业界领先水准。
9.6％掺钪氮化铝谐振器阻抗曲线@2GHz
20％掺钪氮化铝谐振器阻抗曲线@4GHz
30％掺钪氮化铝谐振器阻抗曲线@3.6GHz
目前已实现的20％机电耦合系数不是工艺的极限，我们将向着更大的机电耦合系数及更高的频段迈进。
树芯FBAR谐振器
机电耦合系数技术路线图
原文始发于微信公众号（树芯科技）：杭州树芯电子科技有限公司 掺钪、掺钪氮化铝全流程工艺正式通线
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