日本大阪大学接合科学研究所塚本雅裕教授与同和控股(集团)有限公司(DOWA)及岛津制作所共同开发的一项新技术,该技术利用蓝色半导体激光器的多光束增材制造方法,成功在氮化铝基板上形成纯铜薄膜。

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图 蓝色半导体激光器

功率半导体是电子装置中电能转换与电路控制的核心,主要用于改变电子装置中电压和频率、直流交流转换等。金属化陶瓷基板是功率半导体器件的重要组成部分,通常采用在陶瓷基板的两面接合铜板的方式。其中,典型的陶瓷基板是具有高导热性的氮化铝,目前的技术开发目标是提高其可靠性并降低成本。

传统上,氮化铝与铜的主流接合方法是AMB法(活性金属钎焊法),即使用含有活性金属的钎料进行接合。然而,塚本教授等人研究通过蓝色半导体激光器的多光束增材制造方法,使得氮化铝与铜的直接接合成为可能。这一研究成果通过低热输入和局部加热的创新技术,实现了氮化铝基板上纯铜的直接接合,提升了高可靠性,并有望减少材料损耗和制造工序,进而促进节能和碳中和社会的实现。

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