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一
LTCC的主要工艺流程
1
浆料制备
材料通常采用陶瓷、玻璃粉和有机粘合剂按照一定比例配方混合,制成成份均匀、性能均一的浆料。需要球磨机、砂磨、搅拌机等。
2
流延
浆料通过脱泡、消泡等,再将浆料通过流延成型制成生瓷带。对生瓷带的要求是:致密、厚度均匀和具有一定的机械强度。该工艺需要流延机设备。
3
裁片
将卷带生瓷带按照一定的尺寸进行裁切,裁切的尺寸要比所需要的尺寸略大,以便满足后面的加工。该工艺需要切片机设备。
4
冲孔
在生瓷片上以机械冲孔/激光冲孔的方式制作出用以进行电气互联的过孔、通孔。该工艺有两种方法,机械式冲孔机和激光式打孔机。
孔径大小、位置精度均将直接影响布线密度与基板质量。在生瓷片上打孔就是要求在生瓷片上形成(0.1~0.5)mm直径的通孔。打孔过程中要求对孔周围的影响要小。
推荐阅读:LTCC基板打孔工艺简介
5
填孔
将过孔填充剂填入过孔中,作为层与层之间电路连接的垂直通路,以制备多层陶瓷基板内部的过孔;
填充通孔的导体浆料与形成导电带的导体浆料的组分不同,其粘度应加以控制,充分使其凝胶化,使通孔填充饱满。该工艺需要填孔机。
6
印刷
使用丝网印刷方法,将导电浆料或介质材料印刷在生瓷片上,用以制作电气互联的导线及印制元器件(电阻、电容、压敏电阻等);
印刷工艺参数包括刮板速度、角度、压力和柔韧性等,若印刷参数控制不当,则线条边缘呈现锯齿状,对电路性能影响较大。该工艺需要印刷机。
推荐阅读:LTCC与MLCC印刷工艺对比介绍
7
叠片
将已印刷电路图形的生瓷片按预先设计的层数和次序,依次放入紧密叠片模具中,模具上设计有与生瓷片对位孔一致的对位柱,保证对位精度。该工艺对精度要求高,一般高精度的叠片机使用进口设备。
8
等静压
为使叠层后的生瓷体在排胶烧结时不起泡分层,对生瓷体进行热压。采用等静压工艺,在一定的温度和压力下,使它们紧密粘接,形成一个完整的多层基板坯体。等静压可使层压压力均匀分布到生瓷体上,确保基板烧结收缩一致。该工艺需要层压机(均压机)设备,部分产品对压力及均匀性要求高。
9
切割
将较大面积的生瓷基板,按照各元件、模块的切割边界进行切割分离,便于进行烧结。切割机目前主要是在速度及精度上要求高,通常小尺寸产品切割难度较大。
10
排胶、烧结
将热切下来的生瓷单体放置在烧结炉内的承烧板上,设定好产品烧结的温度曲线后进行烧结。在保证温度均匀的前提下,缓慢进行加热升温,以实现产品的排胶烧结,烧结温度约850~900°C。
排胶烧结关系到瓷体中气体多少、颗粒之间的结合程度以及基板的机械强度的高低。烧结工艺的关键是烧结曲线和炉膛温度的一致性,它决定了烧结后基板的平整度和收缩率。升温速率不宜过快,否则会导致烧结后基板的平整度差、收缩率减小,甚至会发生翘曲。采用烧结炉,优化排胶升温速率和保温时间与生瓷带的尺寸、层数和金属化量的关系。
该两段通常需要先排胶再烧结,共需要排胶炉和烧结炉。
11
钎焊
将表面清洗好的工件以搭接形式装配在一起,把钎料放在接头间隙附近或接头间隙之间。加热使钎料熔化,液态钎料与工件金属相互扩散溶解,冷凝后即形成钎焊接头。
12
测试
对烧结好的低温共烧陶瓷多层基板进行检测,以验证多层布线的连接性。主要使用探针测试仪、激光调阻设备、分选设备等。
二
LTCC主要材料和耗材
LTCC相关原料及耗材

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第三届高端电子陶瓷产业高峰论坛(江苏昆山·11月26日)
01
主要议题
序号 | 议题 | 拟邀请单位 |
1 | 先进低温共烧无源集成材料和器件技术发展 | 清华大学 |
2 | 高端电子陶瓷在汽车领域的发展应用 | 博世 |
3 | 陶瓷覆铜板在大功率半导体的应用 | 罗杰斯 |
4 | LTCC射频模块的发展与应用 | 京瓷 |
5 | 高精密叠层机应用于多层陶瓷基板介绍 | 上海住荣 刘玉生 |
6 | 高性能陶瓷基板在IGBT中的应用与发展 | 比亚迪半导体 |
7 | 应用于HTCC的高性能粉体制备 | 艾森达 |
8 | 基于HTCC技术的发展与应用 | 佳利电子 |
9 | LTCC生瓷带的环境与工艺适应性要求研讨 | 兵器214所 何中伟 |
10 | LTCC低介电常数粉体量产应用发展 | 中国科学院深圳先进技术研究院 颜廷楠 博士 |
11 | 应用于低温共烧陶瓷5G射频模组材料方案 | FERRO |
12 | 电子陶瓷用金属浆料配套应用方案 | 常州聚和 |
13 | 高导热陶瓷低温烧结助剂的研究 | 厦门钨业 |
如有演讲意向,请联系周小姐:18320865613(微信同电话号码)
02
拟邀请企业
通讯、基站、消费电子、汽车等终端企业;LTCC、HTCC等陶瓷基板生产企业;玻璃粉、陶瓷粉体等生瓷材料企业和导电金属导体材料企业;陶瓷流延机、激光切割、自动化组装、烧结、印刷等设备企业;网版、载带、保护膜等耗材企业;检测、科研院所、高校机构等。
部分报名名单(更新至09.24):
姓名 | 公司名称 | 职位 |
陈** | 华为 | 研发 |
童** | 苏州艾福电子股份有限公司 | PM |
朱** | 苏州艾福电子股份有限公司 | 市场总监 |
朴** | 苏州艾福电子股份有限公司 | 研发经理 |
于** | 强一半导体(苏州)有限公司 | 副总 |
侯** | 强一半导体(苏州)有限公司 | 经理 |
夏** | 强一半导体(苏州)有限公司 | 工程师 |
张** | 风华高科 | 副总经理 |
邓** | 广东爱晟电子科技有限公司 | 研发工程师 |
李** | 深圳金航芯半导体有限公司 | 副总 |
夏** | 赣州科盈结构陶瓷有限公司 | 销售经理 |
彭** | 赣州科盈结构陶瓷有限公司 | 副总 |
刘** | 赣州科盈结构陶瓷有限公司 | 经理 |
宋** | 赣州科盈结构陶瓷有限公司 | 销售经理 |
刘** | 赣州科盈结构陶瓷有限公司 | 业务员 |
邓** | 昆山长盈精密 | 总监 |
戴** | 浙江德汇电子陶瓷有限公司 | 副总经理 |
严** | 安徽中创电子信息材料/合肥回创材料科技有限公司 | 项目经理 |
王** | 无锡银硅新能源科技有限公司 | 总经理 |
李** | 圣诺普科(上海)有限公司 | 部长 |
李** | 福建俊杰新材料科技股份有限公司 | 总工 |
李** | 福建俊杰新材料科技股份有限公司 | 董事长 |
甄** | 福建俊杰新材料科技股份有限公司 | 总经理 |
崔** | 宜兴市山佳电子科技有限公司 | 经理 |
王** | 上海网谊光电科技有限责任公司 | 总经理 |
何** | 上海博立尔化工有限公司 | 项目经理 |
周** | 上海琪聚新材料有限公司 | CEO |
刘** | 上海住荣科技有限公司 | 副总经理 |
薛** | 上海住荣科技有限公司 | 总经理 |
张** | 苏州首镭激光科技有限公司 | 总经理 |
徐** | 合肥费舍罗热工装备有限公司 | 销售工程师 |
张** | 合肥费舍罗热工装备有限公司 | 销售工程师 |
方** | 合肥费舍罗热工装备有限公司 | 营销总监 |
方** | 合肥费舍罗热工装备有限公司 | 销售工程师 |
高** | 合肥费舍罗热工装备有限公司 | 销售工程师 |
胥** | 北京北方华创真空技术有限公司 | 经理 |
王** | 昆山硕晟电子有限公司 | 总经理 |
朱** | 昆山硕晟电子有限公司 | 厂长 |
杨** | 昆山硕晟电子有限公司 | 工程经理 |
03
会议议程
04
报名方式

艾果果:13312917301(微信同电话号码),
邮箱:ab008@aibang.com;注意:每位参会者均需要提供信息;

05
收费标准
参会人数 | 1~2个人(单价每人) | 3个人及以上(单价每人) |
9月24日前付款 | 2300元/人 | 2200元/人 |
10月24日前付款 | 2400元/人 | 2300元/人 |
11月24日前付款 | 2500元/人 | 2400元/人 |
现场付款 | 2800元/人 | 2500元/人 |
★费用包括会议门票、全套会议资料、午餐、茶歇等,但不包括住宿。
06
汇款方式及账户
汇款方式及账户:(均可开增值税普通发票)
付款方式1:
公对公账户:
名称:深圳市艾邦智造资讯有限公司
账号:4425 0100 0021 0000 0867
开户行:中国建设银行股份有限公司深圳八卦岭支行
付款方式2:
扫码支付:
注意:会议费用还支持微信(绑信用卡)支付,请扫描上面二维码完成截图发给工作人员
07
赞助方案
项目 | 项目内容 |
主题演讲+展台 | 30分钟主题演讲 |
3个参会名额 | |
商标展示、现场展示台1个 | |
会刊广告 | |
易拉宝/礼品赞助(2选1) | |
主题演讲 | 30分钟主题演讲 |
现场展台 | 现场展示台,展示设备及样品、资料以及洽谈,含3个参会名额 |
会刊广告 | 研讨会会刊,彩色全页广告(尺寸210*285mm) |
侧屏广告 | 主讲屏幕LED两边侧屏,单边侧屏广告,展示全天会议(客户自行设计,图片尺寸以实际面积为准) |
参会证挂绳赞助 | 印有企业标识的挂绳(独家) |
参会证赞助 | 参会证背面单面印刷广告 |
资料袋赞助 | 印有企业标识的资料袋 |
桌牌赞助 | 印有企业标识的桌牌 |
资料入袋赞助 | 企业的宣传册(不超过6P)放入参会袋子 |
会议通讯录banner横幅广告 | 植入在本会议观众通讯录置顶的横幅广告,有效期6个月 |
Logo展示 | 背景板logo,会刊封面logo |
易拉宝 | 现场1个易拉宝展示 |
礼品赞助 | 印有赞助商logo的礼品,用于赠送参会听众 |
微信推送 | 微信公众号,覆盖18万行业专业人群,会前、会中或者会后,企业介绍以及相关软文一共1篇 |
原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):LTCC低温共烧陶瓷生工艺流程及原料和设备一览
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