近日，上海万业企业股份有限公司发布公告称，其控股子公司长三角一体化示范区（浙江嘉善） 嘉芯半导体设备科技有限公司与嘉善县西塘镇人民政府签订了项目投资协议书，项目总称为”长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司年产 2,450 台/套新设备和 50 台/套半导体翻新装备项目”。
该项目投资总额合计 20 亿元人民币，包括固定资产费用、土地出让金、建筑工程费、设备购置费、关键技术研发、铺底流动资金及知识产权。项目预计2023 年 6 月底前，完成厂房建设并进入投资设备采购安装及调试阶段，在 2023 年 12 月底投产，在 2025 年度达产。
嘉芯半导体未来主要从事刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等 8 寸和 12 寸半导体新设备开发生产及设备翻新。
上海万业企业股份有限公司，成立于1991年10月，是一家具有新兴产业基因的高科技上市公司。2018年，万业企业成功收购上海凯世通半导体股份有限公司，正式进入集成电路四大核心装备之一的离子注入机领域。2020年，万业企业领头境内外投资人收购全球领先的半导体气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems Pte. Ltd并成为其第一大股东。2021年5月，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入。
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：总投资20亿元！嘉芯半导体拟建设年产2450台/套新设备和50台/套半导体翻新装备项目
