在为芯片湿制程热塑性塑料寻找解决方案吗？
您的应用是否涉及前端 （FEOL）、后端 （BEOL）、湿法蚀刻流程、PVD 或电镀工具？
请了解三菱化学高新材料的
Semitron®、Ertalyte®、
Ketron® 和 Techtron® 产品系列！
多种材料可供选择，材料组合最为广泛，
确保您的湿制程顺利进行。
特 点
＋
防腐蚀
＋
平整
＋
耐磨
＋
纯净
＋
抗化学性
＋
尺寸稳定性好
|
材料 |
尺寸 稳定性 |
HDT 264 psi |
外观 |
形状 |
|
Semitron® PP |
+++ |
210 |
白色 |
 |
|
Ertalyte® PET-P |
++++ |
240 |
白色 |
 |
|
Techtron® PPS |
+++++ |
250 |
浅褐色 |
 |
|
Ketron® CA30 PEEK |
+++++ |
518 |
黑色 |
 |
|
Ketron® 1000 PEEK |
+++++ |
320 |
棕褐色 |
 |
■ 转盘
■ 齿轮
■ 喷头
■ 晶圆抓取器
■ 针脚和螺钉等
（即使薄板仅 2 英寸）
原文始发于微信公众号（艾邦高分子）：助力“中国芯” | 芯片湿制程热塑性塑料解决方案