在实际生产中,一枚小小的芯片需要经历成百上千步制造步骤,设备或工艺的小瑕疵会影响制造芯片的良度。Teflon™氟聚合物具有 化学惰性,Teflon™聚四氟乙烯 (PTFE) 和四氟乙烯和全氟烷氧基共聚物 (PFA) 等产品与几乎所有化学品都不会发生反应。利用这种特性可以防止流体处理系统的污染、腐蚀和浸出,降低了污染和晶片缺陷的风险。
(Teflon™氟聚合物树脂和涂料的典型化学特性)
节选自科慕Chemours《运用于电子产品的Teflon™氟聚合物》
原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):科慕Teflon™氟聚合物用于半导体领域