半导体

鼎龙股份：氧化铝抛光液通过客户端28nm节点HKMG验证并开启计划采购

作者li, meiyong

3 月 11, 2022

3月10日，鼎龙股份（300054）公告，控股子公司武汉鼎泽新材料技术有限公司的氧化铝抛光液产品在某家公司28nm节点HKMG工艺的Al CMP制程验证通过。

图源鼎龙控股

鼎龙称，该产品使用氧化铝研磨粒子和高分子聚合物，是所有抛光液中技术最难的关键材料，公司已突破技术难关，实现三种关键材料的自主制备。该款搭载公司自制研磨粒子的抛光液产品，是目前尚未取得国产化材料突破的卡脖子抛光液型号之一，难度极高，其各项参数均达到客户应用要求，通过客户端全方面工艺参数验证，并已进入吨级采购阶段。

据公告，鼎龙各制程抛光液在各个主流厂商的验证评价和市场推广工作已全面展开，部分客户的初步评价已经获得了客户端极好的评价结果。产能建设方面，武汉本部工厂一期全自动化抛光液生产车间已经建成，具备年产5000吨抛光液的生产能力，能够满足客户端订单需求。公司将根据市场情况尽快研究部署二期产能建设。

原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：鼎龙股份：氧化铝抛光液通过客户端28nm节点HKMG验证并开启计划采购

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鼎龙股份：氧化铝抛光液通过客户端28nm节点HKMG验证并开启计划采购

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