什么是被称为现代核心产业的半导体产业・・・
在我们身边的家电产品等设备中,安装了被称为半导体的集成电路。其中最具代表性的产品是电脑,此外,为了使之具备更加便利的功能,在汽车、智能手机以及电视机、洗衣机、冰箱等产品中也广泛采用了半导体。 如果没有了半导体,我们每天使用的这些产品的功能就会退化。另外,生产工业产品的机械也使用了半导体,因此,如果没有了半导体,产品也可能无法生产。毫不夸张地说,正是因为有了半导体,我们才能过上舒适的生活。
半导体制造装置所必不可少的精密陶瓷
半导体的制造工序中存在产生等离子体的恶劣环境。因此,如果构成制造装置的零部件不具有避免被等离子体腐蚀的特性,则可能会将杂质混入半导体中,从而导致产生不良品。所以,与树脂、玻璃、金属相比,耐等离子体性更强的高可靠性精密陶瓷更合适。
活跃于半导体制造装置中的主要精密陶瓷零部件
作为精密陶瓷的特点之一,充分利用其优良的耐等离子体性,在产生等离子体的恶劣环境中,采用了各种精密陶瓷零部件。
随着半导体性能的不断提高,要求半导体制造装置具有更好的耐久性
半导体的性能不断提高,半导体制造装置也在不断进步。例如,与过去相比,会在更高的温度下使用更强的等离子体,构成制造装置的零部件也要求具有更高的性能,因此,精密陶瓷零部件正逐渐取代现有的树脂、玻璃、金属等零部件。
来源:京瓷官网
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