传统硅基半导体由于自身物理性能不足,逐渐不适应于半导体行业的发展需求,在此背景下第三代半导体应运而生,第三代半导体材料具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高、抗辐射能力强等特点,在高频、高压、高温等工作场景中,有易散热、小体积、低能耗、高功率等明显优势,碳化硅已成为目前应用最广、市占率最高的第三代半导体材料。

氮化硅作为基板材料具有非常明显的可靠性,采用氮化硅陶瓷基片制作的AMB 陶瓷衬板,与第三代半导体衬底 SiC 晶体材料的热膨胀系数更为接近,匹配更稳定,高导热率、高力学性能的氮化硅陶瓷基片正在逐渐成为宽禁带半导体器件首选的基板材料。国内外企业也对氮化硅基片逐渐加大投入。

三种基板材料耐热循环测试

氮化硅陶瓷基片的总体生产工艺流程包括混料、球磨、脱泡、流延成型、冲压、敷粉(喷粉)、排胶、烧结、除粉清洗、磨边、扫光、研磨、超声波清洗、甩干、激光切割、质检等工序。下面一起来了解一下一片氮化硅基片的成型之路。为加强陶瓷基板及其封装行业上下游交流联动,艾邦建有陶瓷基板产业群,欢迎产业链上下游企业加入。

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1、混料、球磨、脱泡

将氮化硅粉、氧化钇粉等粉体与有机助剂进行混料,混料完成后的物料输送至球磨工序。

球磨工序包括一次球磨及二次球磨:

  • 一次球磨目的是将固态原料与液态物料混合,球磨产物粒径较大但能形成浆液。
  • 一次球磨后的浆液通过密闭带式输送机输送至二次球磨机内,同时向二次球磨机内按比例加入 PVB 树脂(粘结剂,保证浆料干燥后陶瓷颗粒粘接)、聚乙二醇及邻苯二甲酸二乙酯(增塑剂,使基片具有柔韧性,便于后续裁切),二次球磨机对浆液进一步混合研磨。

 

球磨完毕的浆料经密闭带式输送机输送至脱泡机内利用物理方法去除其中的气泡,制得适于流延成型的具有一定胶体粘度的流延浆料。

所需设备:混料研磨机、球磨机、脱泡机

2、流延成型

流延成型工序包括流延及干燥工序。将脱泡罐与流延机进料管连接,通过氮气加压,使浆料进入流延机内,在膜带上铺展为均匀薄膜,经输送带输送至烘道中,由电加热产生的热风对浆料进行烘干,加热温度约 150~180℃,烘干过程中部分沸点较低的有机物挥发从浆料中去除,得到干燥的基板。

所需设备:流延机

3、冲压裁切

对流延成型的坯体冲压裁切,形成氮化硅生坯片。

所需设备:冲压机

4、敷粉/喷粉

通过喷粉机在坯片表面敷上一层氮化硼粉。氮化硼粉起隔离瓷片的作用,目的是确保烧结过程中瓷片不会相互粘结。

所需设备:喷粉机

5、排胶

将敷粉后的坯体送入排胶炉中,在 500~700℃下排胶炉对坯体进行排胶处理,使有机助剂在排胶过程中挥发、分解而从坯体中去除。

所需设备:脱脂炉/排胶炉

6、烧结

烧结是通过高温加热粉体材料产生颗粒粘结、再结晶等物理化学过程得到致密化的具有一定强度的块状产品工艺。将排胶后的陶瓷坯体置于气氛气压烧结炉内,烧结过程采用氮气保护。

所需设备:烧结炉

7、除粉清洗

通过抛刷及超声波清洗(采用纯水清洗)将烧结后基板表面的氮化硼层去除。或烧结后的陶瓷基片经刷洗后烘干,刷洗烘干后的陶瓷基片表面会有少量未彻底清除的粉末,需采用喷砂机进行二次清理。

所需设备:磨床、烘干机、喷砂机、超声波清洗机、

8、磨边、扫光、研磨

通过磨边、扫光、研磨等工序使得基板侧面和表面更加平整,提高产品的精度。

曲面扫光机首先向基板表面淋洗研磨液,研磨液将基板表面润湿后利用毛刷盘对基板表面进行研磨,曲面扫光可以改善基板上下表面的平行度,在后续基板进一步加工时,可以更严格地控制基板的电感和电容,提高电路的并行性。

所需设备:曲面扫光机、磨边机、抛光机

9、清洗、甩干

利用超声清洗的方式,去除瓷片表面的研磨液,清洗后的陶瓷基片通过甩干机甩干。

所需设备:超声波清洗、甩干机

10、激光切割

制成的陶瓷基片采用激光切割机切割成相应的尺寸。

所需设备:激光切割机

11、质检入库

通过目检和设备检测的方式,检验产品的外观及内部结构完整性, 将符合质量要求的瓷片分选入库。

所需设备:检测设备

封面:氮化硅基板,来源:浙江正天

8月29-31日,陶瓷基板生产加工全制程解决方案将亮相深圳第五届精密陶瓷展览会,覆盖陶瓷粉体、有机助剂、研磨分散、喷雾干燥、流延成形、冲压裁切、脱脂、烧结、清洗、烘干、激光切割、研磨抛光、检测等工序。此外还有HTCC、LTCC、AMB/DPC/DBC、厚膜印刷等多种陶瓷金属化解决方案齐亮相,欢迎各位行业朋友莅临参观交流。

活动推荐:观展攻略 l 第五届精密陶瓷暨IGBT产业链展览会(深圳宝安·8月29-31日)

 第五届精密陶瓷暨IGBT产业链展览会

深圳宝安国际会展中心8号馆

8月29-31日

展出2万平米、1,000个摊位、500多家展商、50,000名专业观众;汇聚IGBT产业上游供应链、精密陶瓷、电子陶瓷、陶瓷基板、陶瓷封装、LTCC/HTCC/MLCC加工产业链等产业链上下游企业!

 

展商名单:

展位号

公司        

主营

8A01

广东鑫信智能装备有限公司

5G滤波陶瓷模具,粉末冶金模具,粉末成型压机

8A05

天通吉成机器技术有限公司

粉末成型压机

8A11

长沙建宇网印机电设备有限公司

厚膜印刷机、平面厚膜印刷机、圆管厚膜印刷机、CCD自动对位厚膜印刷机

8A11

天津中环电炉股份有限公司

排胶炉、钟罩炉、可视化热分析、烧结炉

8A19

嘉兴佳利电子有限公司

LTCC / HTCC/微波介质陶瓷元件及卫星导航组件

8A25

江苏国盛新材料有限公司

稀土氧化物及化合物

8A26

上海住荣科技有限公司

机械冲孔机、激光打孔机、丝网印刷机、叠片机、温水等静压机、生瓷片热切机、划片机、X-ray

8A27

太原忠睿合科技有限公司

冷等静压机,温等静压机,干袋式等静压机

8A33

常州普雷特印刷科技有限公司

NorCote感光胶、刮胶、太阳能刮胶、毛细水菲林

8A34

东莞金点自动化科技有限公司

高精密小冲床

8A39

田菱精密网版科技(昆山)有限公司

精密网版

8A40

江西江南新材料科技股份有限公司

电子级氧化铜粉、高纯硫酸铜、碱式碳酸铜

8A43

上海匠聚新材料有限公司

银浆、浆料

8A47

东莞市琅菱机械有限公司

研磨分散设备

8A53

合肥伊丰电子封装有限公司

封装外壳

8A54

上海网谊光电科技有限责任公司

精密不锈钢网版研发与生产, 超薄3u网版

8A57

旭化成塑料(广州)有限公司

特种工程塑料

8A67

长沙西丽纳米研磨科技有限公司

砂磨机、智能单机、全自动化研磨产线及相关配套研磨设备

8A68

中电科风华信息装备股份有限公司

LTCC/HTCC陶瓷切割和打孔样品

8A69

深圳市领创精密机械有限公司

跑台丝网印刷机

8A75

珠海诚锋电子科技有限公司

视觉外观瑕疵检测

8A77

公耀国际贸易(上海)有限公司东莞分公司

电子浆料用添加剂(分散,增稠,树脂)、硅烷偶联剂、MLCC离型膜、铜粉

8A81

合肥泰络电子装备有限公司

网带炉、钟罩炉、箱式炉、推板炉、辊道炉及配套自动化设备

8A81

合肥智热装备有限公司

钟罩炉、高温气氛箱式炉、真空气氛罐式炉、中温洁净箱式炉、热风箱式炉、热风排胶炉、废气净化炉

8A85

东莞市朗骏智能装备有限公司

发那科注塑机、发那科机器人、发那科线切割、CCD自动检测电子烟及装盘机

8A91

东莞市腾科自动化设备有限公司

高速检测机,外检机,视觉CCD

8A91

东莞市宏康机械有限公司

高精度伺服粉末成型机

8A95

华领精机(浙江)有限公司

直线电机、精密主轴、超精密机床、空气静压轴承

8A99

合肥费舍罗热工装备有限公司

脱脂炉,烧银炉,烧结炉,推板炉

8A103

滨州奥诺新材料科技有限公司

96氧化铝陶瓷基板

8A104

苏州纯尔净化科技有限公司

滤芯

8A105

合肥恒力装备有限公司

HTCC高温气氛推板炉,先进陶瓷专用辊道炉,热风箱式排胶炉,先进陶瓷专用钟罩炉,真空回流焊炉,气氛网带炉,智能柔性电镀生产线,手工精密电镀通风柜

8A109

北京天耀科技有限公司

库赛姆台式电镜

8A110

深圳市艾明博电子科技有限公司

AMB覆铜板

8A111

南通浩盛汽车科技有限公司

汽车零部件

8B01

金动力智能科技(深圳)有限公司

IC测试分选机,小颗粒高速测包机

8B07

江西创科新材料科技有限公司

氮化铝陶瓷基板、99.6%氧化铝陶瓷基板和氮化硅基板

8B08

广东汇成真空科技股份有限公司

PVD真空镀膜设备

8B11

上海煊廷丝印设备有限公司

AMB陶瓷基板印刷机,全自动LTCC印刷机,MLCC印刷机,厚膜印刷机,精密填孔/挂壁印刷机

8B13

广东创芯旗智能工业有限公司

高精密电动伺服压机

8B15

苏州锦业源自动化设备有限公司

日本东海高热:ALN粉体连续炉、SIN粉体大型台车炉、中大型真空高温炉(TV炉,TP炉)

8B16

河北高富氮化硅材料有限公司

氮化硅粉体、氮化硅基片、结构件

8B19

上海出光化学有限公司

PC聚碳酸酯、SPS间规立构聚苯乙烯、LMPP低模量聚丙烯、I-Marv加氢石油树脂

8B21

中国电子科技集团公司第四十五研究所

印刷机,填孔机,整平机,叠层机

8B25

安徽贝意克设备技术有限公司

推车炉、排胶炉、钼丝炉、热压炉

8B26

深圳市宇斯特电子有限公司

厚膜陶瓷电路

8B29

深圳市大富方圆成型技术有限公司

精密金属及塑胶产品

8B30

深圳市丁鼎陶瓷科技有限公司

陶瓷雾化芯、氧化锆陶瓷件、MIM件

8B31

株洲艾森达新材料科技有限公司

氮化铝粉体、氮化硅基板、氮化铝基板、结构件等

8B33

浙江正天新材料科技有限公司

氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板

8B34

珠海汉瓷精密科技有限公司

DPC陶瓷支架、DBC陶瓷基板、陶瓷电路板

8B35

北京东方泰阳科技有限公司

流延机

8B36

上海骄成超声波技术股份有限公司

新能源电池、功率半导体、汽车线束、橡胶轮胎、塑料包装、食品裁切等行业提供超声波设备及解决方案

8B39

梅特勒托利多科技(中国)有限公司

梅特勒托利多超越系列热分析系统:DSC  TGA  TMA  DMA  FlashDSC

8B40

珠海市南洋精密组件有限公司

MIM、CIM、PIM

8B41

深圳市鼎华芯泰科技有限公司

PCB、陶瓷基板、IC载板专业制造商

8B42

泰晟新材料科技有限公司

氮化硅、氧化铝、钛酸铝、氧化锆结构件

8B43

河南联合精密材料股份有限公司

金刚石微粉、金刚石研磨液、金刚石研磨垫

8B47

合肥品炙装备科技有限公司

工业电窑炉

8B48

安徽博为光电科技有限公司

先进封装、高低温陶瓷、半导体设备

8B49

阿尔赛(苏州)无机材料有限公司

高端脱脂烧结一体炉,气氛烧结炉

8B53

山东大科电子科技有限公司

低介电陶瓷材料,DPC

8B54

深圳市宇宸科技有限公司

PTC多层陶瓷整线设备HTCC设备LTCC设备等静压机切割机流延机裁片机填孔机印刷机叠层机等

8B55

苏州暾达智能装备有限公司

冲片机,检测机

8B56

益阳曙光沐阳电子技术有限公司

陶瓷电路板 ,dpc工艺

8B63

江西晶弘新材料科技有限责任公司

DPC陶瓷封装基板

8B67

泰安巨浪电子材料有限公司

陶瓷基覆铜板,柔性电子覆铜板,陶瓷金属化

8B68

安泰天龙钨钼科技有限公司

AMG20钼板

8B69

惠州市鸿通晟自动化设备有限公司

MLCC流延机

8B70

浙江亚通新材料股份有限公司

金属粉末、钎焊粉、活性钎料、磁性材料

8B71

四川六方钰成电子科技有限公司

996氧化铝基板,生瓷带,钨浆

8B72

武汉欧双光电科技股份有限公司

激光焊接机,打标机,切割机

8B75

广州柏励司研磨介质有限公司

氧化锆珠、氮化硅珠、碳化钨珠

8B77

东莞市津通自动化设备有限公司

全自动测试编带机

8B81

深圳市奔创电子有限公司

铝基线路板制造商

8B82

苏州爱华钻石工业有限公司

CBN砂轮/金刚磨盘砂轮、钻石工具/超硬磨削优势服务

8B83

杭州九朋新材料有限责任公司

纳米二氧化钵、纳米氧化铝、纳米氧化锌、特种涂料、催化剂等、各种高端纳米材料

8B85

浙江鹏孚隆科技股份有限公司

聚醚醚酮树脂及其复合改性产品

8B89

3M中国有限公司

胶带与胶黏剂

8B95

苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司

高速精密测试封装机

8B97

岳一科技有限公司

光学影像检测解决方案

8B98

广州先艺电子科技有限公司

AMB陶瓷覆铜载板

8B100

日华化学(中国)有限公司(大智化学庭装株式会社)

胶水、切割液、研磨液、抛光液、分散剂、悬浮剂、清洗剂等

8B103

舟山市金秋机械有限公司

流延设备

8B105

江阴通利光电科技有限公司

MLCC离型膜 各类保护膜  胶带

8B109

柘城县金鑫磨料磨具有限公司

金刚石微粉

8B110

武汉宇昌激光科技有限公司

陶瓷激光切割打孔划线一体机

8C01

深圳市索恩达电子有限公司

全自动陶瓷膜检查机

8C05

东莞市微格能自动化设备有限公司

微电子LTCC低温共烧陶瓷,MLCC多层陶瓷电容,HTCC高温共烧陶瓷生产线设备和5G陶瓷射频模块生产线

8C11

重庆华银机电开发有限公司

砂磨机(0.3—1000L)、搅拌机(0.4-132kw)、智能生产线、珠珠装卸机、圆筒清洗机、非标罐体、移动缸

8C12

苏州艾福电子通讯股份有限公司

介质滤波器、介质双工器、介质合路器、介质谐振器(TEM、TE、TM)、陶瓷天线、射频标签、陶瓷波导滤波器、陶瓷腔体滤波器

8C13

合肥市鑫仓工业设备科技有限公司

激光打标机、切割机、氦质谱检漏仪

8C14

广东康荣高科新材料股份有限公司

精密陶瓷及结构件、电器陶瓷及配件、电子陶瓷(瓷壳、瓷棒、瓷管)、5G新能源陶瓷及配件

8C15

池州信安电子科技有限公司

真空浸涂机、智能烘干机、真空烧结炉

8C19

东莞市维迅机械科技有限公司

电镀设备、阳极氧化设备、清洗设备、及相关连线自动上下料设备

8C21

苏州德龙激光股份有限公司

精密激光加工设备及激光器

8C22

河南三特炉业科技有限公司

马弗炉、电阻炉、管式炉、升降炉、台车炉、工业炉、热处理加热炉系列产品

8C25

苏州红恩新材料科技有限公司

氧化铝陶瓷纤维制品

8C26

惠丰钻石股份有限公司

金刚石微粉

8C26

深圳市康柏工业陶瓷有限公司

氧化锆/氧化铝/碳化硅/氮化硅等先进结构陶瓷专业实体生产商

8C33

浙江德龙科技有限公司

薄膜陶瓷,流延机,等静压机、冲孔机、生磁带切割机、球磨机、分切机

8C39

浙江精瓷半导体有限责任公司

DPC薄膜陶瓷电路板、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、AMB氮化硅覆铜封装材料、陶瓷制冷片

8C40

东莞市欧凡能源科技有限公司(大米云谷)

8C41

河南龙兴钛业科技股份有限公司

二氧化钛等粉体材料

8C42

南京以太通信技术有限公司

介质陶瓷粉体、介质滤波器、介质谐振器、天线、陶瓷封装管壳、氧化铝陶瓷件

8C43

合肥高歌先进电炉装备有限公司

高温高压陶瓷专用烧结炉

8C47

西安鑫乙电子科技有限公司

流延机

8C48

广东西尼科技有限公司

视觉智能选别机

8C49

柘城县施诺德钻石科技有限公司

金刚石微粉破碎料

8C50

深圳市联特佳精密科技有限公司

超高精密模具配件

8C53

河北思瑞恩新材料科技有限公司

研磨抛光材料

8C54

金业新材料科技(昆山)有限公司

陶瓷电容器瓷粉、结构陶瓷材料及制品

8C71

苏州精创光学仪器有限公司

超声波自动化设备/DBC自动缺陷检测设备/AMB陶瓷基板终检检测自动化设备

8C77

深圳市百柔新材料技术有限公司

PCB塞孔材料、PCB喷墨打印材料、PCB&PCB+导电浆料、陶瓷和玻璃基板电路、光伏材料

8C81

河北美科微晶材料有限公司

美科微晶

8C82

扬州锦润网带制造有限公司

金属丝网及网带

8C83

肇庆市宏华电子科技有限公司

薄膜流延机、薄膜丝印机、薄膜叠层机、等静压机、切割机、封端机、外观检测机、测试机、编带机等

8C95

浙江矽瓷科技有限公司

介质陶瓷材料、生瓷带

8C96

深圳市博敏电子有限公司

DPC/AMB/TFC/PCBA/特种电路板

8C98

深圳市鑫腾辉数控设备有限公司

精雕机

8C99

东莞市中微力合半导体科技有限公司

金刚石研磨垫、金刚石蜂窝垫、聚晶金刚石液

8C110

创轩(南京)激光智能科技有限公司

精密激光加工设备

8H01

德中(天津)技术发展股份有限公司

激光精密加工设备、电路板打样设备

8H05

无锡市阿特兹智能装备有限公司

喷雾干燥设备

8H05

无锡市新星源机电设备制造有限公司

单/双推板式道炉,高温单 (双)通道道炉,网带炉、真空炉

8H06

珠海粤科京华科技有限公司

96%氧化铝、99%氧化铝、氧化锆陶瓷基板、陶瓷金属化、陶瓷发热片

8H08

深圳市岗峰精密机械有限公司

高速精密冲床、高速精密自动冲床

8H11

江苏淮瓷科技有限公司

半导体集成电路陶瓷外壳

8H13

武汉赛斐尔激光技术有限公司

电子陶瓷激光划片机、电子陶瓷高速激光精密打孔机、玻璃激光精密切割机、紫外激光精密切割机

8H14

石家庄明远科技有限公司

高精密丝网版

8H19

西安航科创星电子科技有限公司

电子陶瓷材料、氧化铝陶瓷基板(LTCCHTCC)、氮化铝陶瓷基板(AlN)、氧化铝陶瓷封装管壳(LTCCHTCC)

8H20

深圳市聚晟源五金制品有限公司

铝外壳、精密件CNC为主、铝型材定制为主

8H21

深圳市金岷江智能装备有限公司

流延机

8H25

东莞市智达精密机械有限公司

外检机,测包封装,组装送料精密铝合金振动盘涉及电感,电阻,五金,贴片电子元件,密封圈光学镜头,半导体

8H26

上海福讯电子有限公司

精密印刷模板

8H29

厦门钜瓷科技有限公司

氮化铝粉体及陶瓷制品

8H33

苏州国科测试科技有限公司

LTCC&HTCC检测设备

8H39

成都旭瓷新材料有限公司

氮化铝、氧化铝、氮化硅陶瓷基板

8H47

太仓万信达化工材料有限公司

湿电子化学药水

8H48

湖南维尚科技有限公司

热等静压炉、氮化硅专用烧结炉、氮化硅陶瓷基板炉、氮化硅粉体烧结炉

8H49

深圳腾源盛科技有限公司

HTCC(高温共烧陶瓷)/LTCC(低温共烧陶瓷),生瓷带,粉体,浆料

8H50

深圳市鑫贵金银提炼技术有限公司

回收含金银钯铂铑锡铜等各类电子废料

8H53

广东汇京智能装备有限公司(原东莞市康搏智能装备有限公司)

纳米砂磨机、高速分散机&分散罐、研磨介质

8H54

东莞市精微新材料有限公司

银合金粉、合金粉体定制、钎焊粉体

8H57

深圳市盛鸿辉科技有限公司

PCB、FPC电镀设备

8H57

深圳市荣华安骏机电设备有限公司

专业陶瓷板DPC、DBC、AMB工艺自动化设备制造商;半导体引线框架精密蚀刻、铜带式镀银镀镍环形线(配自动上下料机)自动化设备制造商

8H61

上海晶材新材料科技有限公司

LTCC生瓷料带及金属导体浆料

8H67

常州速稳智能机械有限公司

压电式微小颗粒高速送料系列设备

8H69

深圳市汇旭达科技有限公司

涂布机,叠层机,精密抛磨设备,半导体材料

8H70

广东斯丹德五金通信科技股份有限公司

微型精密零件、SMD精密金属将压件

8H71

综研化学(苏州)有限公司

高分子产品/聚丙烯酸脂类涂剂 ;功能性有机粉体/聚丙烯酸脂类超微粉体

8H72

东莞市科诗特技术有限公司

激光切割、打孔在内的多款激光智能加工装备等

8H75

陕西欧西克电子有限公司

生产高压陶瓷电容、5G微波介质粉料、GPS天线片

8H76

深圳倍特莱福电子科技有限公司

研磨机

8H77

武汉坤元流延科技有限公司

流延机、球磨机、脱泡机、涂布机、裁片机、冲孔机、丝印机、叠片机、温等静压机、热切机等

8H81

中山市基础科技有限公司

陶瓷和金属封装基板/DPC/AMB/IMS

8H82

长沙珲泰陶瓷科技有限公司

氧化铝粉、氧化铝抛光粉、陶瓷造粒粉、无粘结剂造粒粉、5G陶瓷滤波器氧化铝粉、ZTA、电熔莫来石、硅藻土硅酸锆陶瓷珠、表面处理/喷砂材料

8H85

福建华清电子材料科技有限公司

氮化铝、氧化铝陶瓷基板

8H89

广州诺顶智能科技有限公司

LTCCHTCC生瓷带全自动AOI检测设备、薄膜电路厚膜基板全自动AOI检测设备

8H95

拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司

压力烧结炉、真空烧结炉,半导体器件用氧化炉、退火炉、LPCVD

8H96

上海热凡高温设备有限公司

3D金属打印后热处理设备、HTCC、MLCC烧结设备、真空舒焊及扩散焊热工装备

8H99

杭州兴容科技有限公司

MLCC被动元器件及陶瓷材料

8H100

上海品豫有色金属科技有限公司

有色金属,稀有金属,难溶金属,贵金属,高温耐蚀材料,精密合金,发热电阻合金材料等

8H103

湖南南国设备科技有限公司

研磨机械设备、五金产品

8H104

湖南西欧新材料有限公司

特种陶瓷

8H105

璞石精密机械制造(广州)有限公司

叠层陶瓷电容送料机的厂家

8H109

都匀双成机械设备有限公司

数控雕刻机

8H110

福州赛瑞特新材料技术开发有限公司

氮化硼陶瓷

8H111

山东国瓷功能材料股份有限公司

纳米级钛酸钡及配方粉、纳米级复合氧化锆、高热稳定性氧化铝、氮化铝、蜂窝陶瓷、喷墨打印用陶瓷墨水、陶瓷球及陶瓷轴承、陶瓷基板等

8H115

中国电子科技集团公司第二研究所

切片机、打孔机、通孔填充机、叠片机、热切机、印刷机等全线设备

8H116

深圳正阳工业清洗设备有限公司

玻璃清洗,五金冲压件清洗,金属件喷淋,工业冷水机,纯水机,镀膜线,清洗线,触控玻璃清洗

8H118

深圳市宇阳科技发展有限公司

MLCC产品

8H121

SERIA CORPORATION

陶瓷印刷机

8H123

广东中科微精光子制造科技有限公司

高精密激光高效切割/打孔

8H124

太平洋亞洲系統有限公司

丝网印刷机、自动光学检测机AOI、熔炉烧结炉、机械冲孔机

8H129

昆山皇冠研磨材料有限公司

砂带、陶瓷刷、发泡刷等

8H130

焦作众成新材料有限责任公司

氧化锆粉体、陶瓷结构件、氧化锆珠

8H131

浙江京驰科技发展有限公司

流延机、脱泡桶、过滤器

8H137

深圳市飞仕达机械设备有限公司

水平线设备

8H149

安徽瑞海新材料有限公司

电子化学品、湿制程表面处理解决方案

8H149

昆山市广程机械设备有限公司

专业研发生产制造DBC,AMB,DPC全流程湿制程设备供应商及解决方案

8H153

广东振华科技股份有限公司

真空镀膜设备

8H157

东莞产台商贸有限公司

送料机

8H158

北京宁远博纳电子科技有限责任公司

Zeiss扫描电镜Motic显微镜Zeiss影像仪

8H164

湖南宇环精密制造有限公司

数控磨床、数控研磨抛光机、活塞环专用设备、智能装备

8H159

北京宁远博纳电子科技有限责任公司

LTCC/HTCC/MLCC 机械、激光打孔机、丝网印刷机(含卷对卷)、膜厚测试仪、叠片机(含卷对卷)、等静压机、生切机、烧结炉(箱式链式)、端银机、划片机

8H163

洛阳赫特仪器设备有限公司

热分析仪器、高温电炉

8D36

苏州铼赛智能科技有限公司

3D打印机

8D49

深圳市海泰精工科技有限公司

高速检测机,外检机、陶瓷薄膜电极印刷检测设备

8D69

深圳市君鑫达电子有限公司

Type-C开发商

8D72

东莞市永佳塑胶科技有限公司

电子烟应用管材和棒材

8D85

深圳市和力泰科技集团有限公司

陶瓷精雕机、抛光机、烟包机、装盒机

8D95

深圳光华伟业股份有限公司

eSUN易生生物降解注塑料

8D110

珠海真理光学仪器有限公司

激光粒度仪/纳米粒度Zeta电位分析仪/喷雾粒度仪

8E35

东莞市泰科工程塑料有限公司

PCTG,PEEK,PA12,PC

8E35

广东渝丰高分子材料有限公司

PPS、PEI、PEEK、PPSU、PET、PBT、高温尼龙

8E36

东莞市柯睿电子有限公司

Pogo Pin, Pogo Pin连接器,精密及智能硬件精密连接器方案提供商

8E39

深圳市鑫陶窑炉设备有限公司

高温烧结炉

8E69

佛山星辉恒业供应链有限公司

PCTG,PA12,PPA,PC,透明尼龙,PA66, PA6环保颗粒

8E99

广州北晟新材料科技有限公司

稀土永磁、先进金属材料、金属注射成型、精细陶瓷、钛合金材料

8E109

宁波琳盛高分子材料有限公司

PEEK高温管

8F21

东莞市林洋机械设备有限公司

光学分选机

8F26

广州市领昱标识技术有限公司

小字符喷码机、激光打标机

8F70

科思创(上海)投资有限公司

可持续的材料解决方案

8F104

江苏君华特种工程塑料制品有限公司

PEEK树脂聚合+PEEK型材挤出+PEEK成品零件

8G05

深圳市晶瓷精密科技有限公司

金属外壳、电子材料、陶瓷基板、陶瓷线路板、电子元器件、电子模块、五金及塑胶产品表面处理、电子设备、仪器

8G26

成都万士达瓷业有限公司

精密高导热陶瓷基板、DBC陶瓷覆铜电路板

8G34

深圳市德斯戈智能科技有限公司

缺陷检测设备

8G53

佛山市佛大华康科技有限公司

芯片封装设备、PCB导线高频焊接设备、晶圆/芯片贴装/玻璃镜面精密测量设备

8G62

山东盈和电子科技有限公司

SMD石英晶振谐振器、特种陶瓷基板

8G71

深圳国冶星光电科技股份有限公司

LED数码管,LCD显示屏,LED灯珠,显示模组,咪头SMT加工,方案板包工包料加工,咪头焊接,电子烟控制板加工。

8G85

深圳市迈创力科技有限公司

飞针测试机、AOI自动光学检测机

8G89

深圳天华机器设备有限公司

精密五金蚀刻设备、电路板(PCB)水平湿流程生产设备、光电产品湿制程设备

8G95

东莞市华创兴智能设备有限公司

线路板设备及零件配件水平电路板设备

8G95

深圳市鑫瑞兆科技有限公司

PCB化工原料、电镀铜,锡,镍,金系列药水

8G95

深圳市三力创自动化设备有限公司

电镀设备

8G103

广州多浦乐电子科技股份有限公司

汽车零部件,超声波检测系统,传感系统

8G104

昆山艾科迅真空装备有限公司

有色金属真空焊、覆铜板真空钎焊、陶瓷真空钎焊、二氧化硅真空钎焊

8G105

深圳铱创科技有限公司

高性能阳极

8G106

珠海市庞博工业设备有限公司

高温试验炉、烘干炉、熔炉及电炉

8G111

江西昊光科技有限公司

DPC、AMB基板

8G112

深圳市恒业智能制造有限公司

全自动高效高精密丝印机、智能检测设备及周边自动化等

8G115

南通众博信智能科技有限公司

文字喷墨打印机,AOI光学扫描仪,高速飞针测试机,全自动专用测试机,专用测试机

8G121

科视达(中国)有限公司

自动化超声扫描检测设备

8G129

东莞市杰凯工业设备有限公司

水泵

8G131

常州弘盛达电子设备有限公司

PCB专用设备、五金蚀刻、高精密蚀刻引线框架系列设备

8G132

东莞市鑫诺电子科技有限公司

专业离线AOI、在线AOI、VRS设备

8G132

动力博石(广东)智能装备有限公司

微纳尺寸测量仪、自动对焦视频显微镜、图像尺寸测量仪

8G139

上海岩谷有限公司

三井金属产耐火窑具,及其它PET膜、各类浆料等日本进口原料

8G143

广德东风半导体科技有限公司

专业生产各类双面板、多层板、铝基板、陶瓷板、高频板等

8G144

湖州特思福电子科技有限公司

类半导体陶瓷平面DI曝光机 / DBC AMB HTCC陶瓷产品AOI全制程高速检测设备

8G144

昆山卓研智能科技有限公司

激光精密钻孔、激光切割划片、激光打标焊接、自动喷墨喷码机、自动化装备、全制程追溯系统

8G149

苏州广林达电子科技有限公司

超声波扫描显微镜

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深圳市鑫路远电子设备有限公司

真空灌胶机,三段式真空灌胶机,点胶机等自动化设备

8G162

江门市浩远科技有限公司

陶瓷金属基板、BT载板、IC载板

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作者 ab