日本研究员交替层叠钛酸钡纳米立方体薄膜与石墨烯，实现MLCC大幅薄层化；村田、石原产业、富士钛合资公司正式成立

• 日本研究员交替层叠钛酸钡纳米立方体薄膜与石墨烯，实现MLCC大幅薄层化

近日，日本产业技术综合研究所（AIST）先进功能材料研究所研究员板坂浩树、高级研究员刘峥、高级研究员三村宪一、研究组组长滨本孝一开发出将钛酸钡（BTO）立方单晶（纳米立方）单层薄膜用作介电层，多层石墨烯薄膜用作电极层交替层压工艺技术。据介绍，该技术有望成为实现多层陶瓷电容器 (MLCC) 内介电层和电极层交替层压结构大幅薄化的基础技术。

迄今为止，AIST已成功利用水热法合成了BTO纳米立方体，并制备了厚度约为20 nm的单层薄膜，其中BTO纳米立方体以二维方式规则排列。此次开发与电极层交替层压技术，使BTO纳米立方单层薄膜可以用作MLCC内部的介电层。在这项研究中，研究员开发了一种工艺技术，将尺寸约为20 nm的BTO纳米立方体二维排列的单层薄膜和厚度为2~3 nm的多层石墨烯交替堆叠。具体地，重复将BTO纳米立方体单层膜转移到下电极基板上，然后将片状多层石墨烯转移到其上的过程。这使得创建石墨烯/BTO纳米管单层交替堆叠的结构成为可能。

传统工艺中，BTO粉末和金属粉末交替分层，并在1000℃以上的高温下烧结。与用这种方法制造的MLCC内部的叠层结构相比，通过使用新开发的叠层技术，每一层都可以做得更薄，介电层的厚度减少到1/10以下，电极层的厚度减少到1/100以下。

• 村田、石原产业、富士钛合资公司正式成立，提高钛酸钡产能

2023年9月1日，村田制作所、石原产业株式会社、富士钛工业株式会社共同出资设立的合资公司MF材料株式会社正式成立。富士钛是村田生产多层陶瓷电容器的钛酸钡材料供应商之一。

未来，合资公司计划于2027年在宫崎县延冈市开设新工厂，以提高钛酸钡产能。通过结合富士钛和村田制作所积累的制造技术和专业知识，进一步提高质量和生产率。

原文始发于微信公众号（艾邦陶瓷展）：日本研究员交替层叠钛酸钡纳米立方体薄膜与石墨烯，实现MLCC大幅薄层化；村田、石原产业、富士钛合资公司正式成立