12月27日，由上海盛剑半导体科技有限公司建设运营的国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地在嘉定工业区开工，总投资6亿元，项目建成后，有望提升半导体制程附属装备的高端国产化配套能力，推动半导体装备国产替代率不断提高。
该项目占地面积约42亩，拟分两期投资建设，生产基地选址嘉定工业区（北区），将打造成为集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。
据了解，上海盛剑半导体科技有限公司成立于2021年12月，是国内半导体产业工艺废气治理系统解决方案领军企业——上海盛剑环境系统科技股份有限公司（股票代码：603324）的子公司。截至目前，企业已获专利50余项，在半导体附属设备领域具备深厚积累，服务于中芯国际、华虹半导体、北京集电、格科微、卓胜微、长电科技、京东方、华星光电、惠科光电、天马微电子、维信诺、和辉光电、彩虹股份、ICRD、士兰微电子、芯恩、粤芯半导体、华为海思、中电系统、深南电路、通威股份等知名企业。
集成电路制造关键附属装备主要包括温控装备、干泵、尾气处理装备和真空隔离阀等。半导体制造的核心工艺流程主要包括掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺，在硅片清洗、氧化、湿法腐蚀、干法腐蚀、离子注入、扩散、化学气相沉积等环节，会产生大量酸碱、砷烷、磷烷、有机等工艺废气。废气治理直接影响客户的产能利用率、产品良率，以及员工职业健康、生产环境。针对各工艺段产生的废气，盛剑环境提供一般排气、酸性、碱性、有毒、VOCs等泛半导体工艺废气解决方案。
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：总投资6亿元，上海盛剑半导体打造国产先进半导体附属装备平台！
