2023年12月28日上午，广州增芯科技有限公司举行首台生产设备搬入仪式。
本次搬入设备是由中微半导体设备（上海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台，也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备，运用了中微具有自主知识产权的创新技术，是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。该设备的搬入，是继项目“920封顶”以来的重要交付，标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工，项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。本次活动的圆满成功，标志着增芯正式迈入新起点、新征程。
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：广州增芯科技迈入新纪元：首台Primo D-RIE®设备搬入仪式成功举行