聚焦环是芯片制造领域的关键耗材，传统的聚焦环由硅或石英制成，随着集成电路微型化推进，集成电路制造对于刻蚀工艺的需求量、重要性不断增加，刻蚀用等离子体功率、能量持续提高，尤其是电容耦合（CCP）等离子体刻蚀设备中所需等离子体能量更高，因此碳化硅材料制备的聚焦环使用率越来越高。
图 聚焦环材料的发展，来源：TCK
图 碳化硅聚焦环制备工艺，来源TCK
推荐活动：【邀请函】2024年半导体陶瓷产业论坛（2024年4月12日·泉州）
The Semiconductor Ceramics Industry Forum
福建省泉州市晋江市滨江路999号
序号 | 暂定议题 | 拟邀请企业 |
1 | 半导体设备及陶瓷零部件的现状及发展趋势 | 拟邀请陶瓷零部件企业/高校研究所 |
2 | 半导体用高超精密陶瓷部件研制与应用 | 拟邀请陶瓷零部件企业/高校研究所 |
3 | 半导体引线键合用陶瓷劈刀制备技术 | 拟邀请劈刀企业/高校研究所 |
4 | 大功率电力电子器件用陶瓷封装基板的研究进展 | 拟邀请陶瓷基板企业/高校研究所 |
5 | 第三代功率半导体封装用AMB陶瓷覆铜基板 | 拟邀请AMB企业/高校研究所 |
6 | 多孔陶瓷的研究进展及在半导体领域的应用 | 拟邀请多孔陶瓷企业/高校研究所 |
7 | LTCC技术在半导体晶圆探针卡中的应用 | 拟邀请探针卡企业/高校研究所 |
8 | CVD用绝缘高导热氮化铝陶瓷加热器的研发 | 拟邀请陶瓷加热盘企业/高校研究所 |
9 | 耐等离子腐蚀的氧化钇陶瓷的开发与应用 | 拟邀请氧化钇陶瓷企业/高校研究所 |
10 | 高强度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的开发 | 拟邀请氮化硅陶瓷企业/高校研究所 |
11 | 碳化硅陶瓷结构件在集成电路制造关键装备中的应用 | 拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所 |
12 | 半导体装备用陶瓷静电卡盘关键技术 | 拟邀请静电卡盘企业/高校研究所 |
13 | 高纯氧化铝陶瓷制备工艺及其在半导体领域的应用 | 拟邀请氧化铝陶瓷企业/高校研究所 |
14 | 真空钎焊设备在半导体领域的应用 | 拟邀请真空钎焊企业/高校研究所 |
15 | 高精度复杂形状碳化硅陶瓷制备工艺研究 | 拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所 |
16 | 半导体设备用陶瓷的成型工艺技术 | 拟邀请成型设备企业/高校研究所 |
17 | 高强度氮化硅粉体制备工艺技术及产业化 | 拟邀请氮化硅粉体企业/高校研究所 |
18 | 高性能氮化铝粉体连续式生产关键工艺技术 | 拟邀请氮化铝粉体企业/高校研究所 |
19 | 覆铜陶瓷基板的失效机理分析及可靠性设计 | 拟邀请陶瓷基板企业/高校研究所 |
20 | 特种陶瓷高温烧结工艺技术 | 拟邀请热工装备企业/高校研究所 |
21 | 半导体设备用陶瓷零部件表面处理技术 | 拟邀请表面处理/陶瓷零部件企业 |
原文始发于微信公众号（艾邦陶瓷展）：16家碳化硅聚焦环相关厂商介绍
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