1月31日,六方半导体官微宣布,六方科技聚焦碳化硅涂层技术,突破国外技术垄断,实现了碳化硅涂层产品在半导体领域的部分国产替代。
在前期的研发及产业化基础上,六方科技创始人、甬江实验室热场材料创新中心主任,何少龙博士申报的项目“超高纯耐高温耐腐蚀陶瓷涂层材料研究及应用探索”通过答辩,被纳入“尖兵领雁”研发攻关计划,获得浙江省重大科创平台省级财政补助资金2000万。

突破垄断,六方半导体SiC涂层技术实现国产替代

该项目的通过并获得资助,对开展先进陶瓷涂层材料具有极大的推动作用,未来通过实验室成果转化,为六方科技持续引领先进涂层技术奠定坚实基础。
突破垄断,六方半导体SiC涂层技术实现国产替代
碳化钽涂层产品
项目聚焦碳化硅,碳化钽,碳化钨等超高纯度、耐高温、耐腐蚀的陶瓷涂层材料的基础研究以及产业化应用,最终将技术成功转化为产品。甬江实验室热场材料创新中心与六方科技之间的紧密合作,助力项目顺利开展。
突破垄断,六方半导体SiC涂层技术实现国产替代

甬江实验室 热场材料创新中心

 

来源:六方半导体官微

 

原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):突破垄断,六方半导体SiC涂层技术实现国产替代

作者 li, meiyong