3月19日,中微半导体发布公告称,制定2024年度“提质增效重回报”行动方案,以进一步提升公司经营效率。

中微半导体:碳化硅功率器件外延设备即将开展客户端生产验证

中微半导体2023年营业收入达到62.5亿元,同比增长约32.2%;归母净利润达到17.86亿元,同比增长52.7%;新增订单金额约83.6亿元,同比增长约32.3%。

聚焦核心主业,加速新产品推出

中微半导体专注半导体微观加工设备,目前可以提供5纳米及更先进的芯片刻蚀设备,从2012年到2023年的十余年中,销售额年均增长率超过35%。

其等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备,中微提供的MOCVD设备更是先进显示和功率器件生产所需的关键设备。中微表示,2024年将继续聚焦集成电路及泛半导体相关领域的刻蚀和薄膜设备。

在此方案中,中微开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率器件、Micro-LED等器件所需的多类MOCVD设备也取得了良好进展,2024年将会陆续进入市场,同时公司还将积极探索布局在泛半导体领域相关的核心设备市场机会。

中微半导体:碳化硅功率器件外延设备即将开展客户端生产验证

等离子体刻蚀设备

持续自主创新,进行高水平研发投入

截至2023年12月,公司已申请2,551项专利,其中发明专利2,161项;

已获授权专利1,547项,其中发明专利1,329项。

随着全球半导体设备市场持续扩大和技术的不断创新,针对第三代半导体设备市场,中微正在开发硅基氮化镓化硅功率器件专用的外延设备预计2024年第一季度将开展客户端生产验证,强化竞争实力。
另外在中微2023年度报告中显示,还有2项SiC和GaN在研项目。总计投资2.3亿元,SiC外延项目处于开发阶段,即将开展样机在客户端的验证测试;GaN项目开发完成,已经进入量产阶段。

中微半导体:碳化硅功率器件外延设备即将开展客户端生产验证

中微半导体:碳化硅功率器件外延设备即将开展客户端生产验证

项目方面中微在南昌的全资子公司南昌中微半导体设备有限公司的研发基地已于2023年7月正式投入使用;2024年,公司在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地将正式启用。

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原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):中微半导体:碳化硅功率器件外延设备即将开展客户端生产验证

作者 li, meiyong