DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

覆铜陶瓷基板是通过特殊工艺在陶瓷基片单/双表面结合铜材的基板,在功率半导体产品中应用广泛,重要性仅次于芯片,是高功率高散热产品的核心封装材料之一。

陶瓷覆铜板按照工艺一般可分为:DPC(直接电镀陶瓷基板)、DBC(直接覆铜陶瓷基板)和AMB(活性金属钎焊陶瓷基板),具有导电互联、电气绝缘、散热通道和机械支撑等优良功能。其中DBC和AMB在功率半导体中被大量应用。
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
 
  • DPC陶瓷基板

DPC主要用蒸发、磁控溅射等面沉积工艺进行基板表面金属化,先是在真空条件下溅射钛,然后再是铜颗粒,最后电镀增厚,接着以普通PCB工艺完成线路制作,最后再以电镀/化学镀沉积方式增加线路的厚度。覆铜板一般需要印制较为密集的线路,打孔等,线路制作较为精密。通常镀层厚度一般是1um~10um,铜层的结合力在8~15n/mm。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

图 DPC陶瓷基板工艺流程
  • DBC陶瓷基板

DBC 是一种将铜箔直接键合在陶瓷基板上的工艺。优点在于其高热导率、高绝缘性能和高可靠性。陶瓷基板具有优异的热传导性能,能够有效地将器件产生的热量传递到散热器上,从而保证器件的稳定性和寿命。陶瓷基板DBC工艺还具有高可靠性,能够保证器件在长期使用过程中的稳定性和可靠性。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

图 DBC基本工艺流程
  • AMB陶瓷基板

AMB陶瓷覆铜板采用的是AMB活性钎焊工艺做铜,铜层结合力比DPC要高,在18n/mm以上,高的达到21n/mm以上。AMB陶瓷覆铜板通常结合力高,通常做的铜较厚,在100um~800um之间,一般很少做线路或者打孔,就算有线路也是非常简单,间距比较宽。
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
图 AMB基本工艺流程
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
8月28-30日艾邦第六届精密陶瓷展览会将于深圳国际会展中心7号馆举办,届时艾成科技宇斯特电子合肥圣达、广德东风安徽陶芯科鼎华芯泰芯瓷半导体、江丰同芯半导体陶瓷覆铜板相关企业将参展,欢迎各位行业朋友莅临参观交流。

至2024年6月1日(持续更新),已参展陶瓷覆铜板相关企业集合:
7A71 苏州艾成科技技术有限公司

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

官网:www.jssict.com

苏州艾成,成立于2021年7月,是集研发与生产为一体的公司,是国内唯一一家实现“陶瓷白板-覆铜-蚀刻-化镀”全流程量产能力的陶瓷基板高科技企业。
艾成科技自产的氮化硅(Si3N4)陶瓷散热基板,填补了国内氮化硅基板的量产空白。目前在同步开发导热率100W和130W的氮化硅基板,将彻底打破高端氮化硅基板被日本垄断的局面,实现国产自主可控替代。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

AlN-AMB
7B60 深圳市宇斯特电子有限公司
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

官网:www.ystceramic.com

深圳市宇斯特电子有限公司主营产品有:厚膜陶瓷板,高频衰减器,高频负载,高压电阻,高阻电阻,大功率电阻,厚膜混合电路,车用厚膜传感器,片式特种电阻器,DPC陶瓷板,DBC陶瓷板,HTCC陶瓷板,LTCC陶瓷板,AMB 陶瓷板,薄膜陶瓷板等。已先后通过ISO13485和IATF16949认证。宇斯特内拥有各类陶瓷板生产线,电阻测试&封装线,SMT贴装生产线,拥有20余年生产和研发经验(214所工作经验)。

双面DBC陶瓷板
 7C87 合肥圣达电子科技实业有限公司
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

官网:www.sdetec.com

陶瓷基板是圣达科技重点发展方向,已建成包括氮化铝粉体、氮化铝和氮化硅基板、DBC和AMB陶瓷覆铜板在内的完整产线。经过20多年发展,现有厂房1.3万平米,已建成年产480万片DBC、年产60万片AMB基板和年30万片氮化硅基板生产线,未来规划建设年产1000万片DBC、年产240万片AMB和年产60万片氮化硅基板生产线。产品重点应用于新能源车、新能源及储能、智慧家电、智能电网等领域。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

陶瓷覆铜板
7C115 广德东风电子有限公司
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

官网:http://www.gddfdz.com/

广德东风电子有限公司是一家专业生产高精密线路板企业,成立于2014年。所有PCB流程均可自主完成,目前年产能已达100万m2。旗下子公司东风半导体成立于2023年2月,拥有生产厂房面积20000平方米,专业从事功率半导体用高性能陶瓷基覆铜板(DBC)的设计、研发、生产和销售,产品广泛应用于IGBT功率半导体模块、5G射频器件、电动汽车、轨道交通、新能源领域、航空航天等应用领域。目前,东风半导体的年生产能力达150万片高性能陶瓷基覆铜板。在今年4月8日,宣城政府网还发布了《广德东风半导体科技有限公司年产300万张功率半导体覆铜陶瓷基板项目环境影响报告表(送审稿)》受理公示,该项目暂时未披露更多信息。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

7D120 安徽陶芯科半导体新材料有限公司

官网:http://www.ahtxk.com/

安徽陶芯科半导体新材料有限公司坐落于安徽省高新技术产业基地--祁门县电子产业园,厂房面积10000平米,主要生产DBC覆钢陶瓷基板系列产品。产品被广泛运用于IGBT功率模块、半导体制冷器、5G射频器件、整流桥晶闸管、变频器、新能源汽车、汽车充电桩、风力发电、智能电网、航空航天等领域。

陶芯科DBC覆铜陶瓷基板项目总投资1.2亿元,于2023年7月25日投产,一期年产120万片高性能DBC覆铜陶瓷基板,二期年产量1000万片各类功率半导体覆铜陶瓷载板(AMB、DBC、DPC、DBA)。

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

DBC覆铜陶瓷基板
7H90 深圳市鼎华芯泰科技有限公司

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

官网:http://www.pcbbest.com
深圳市鼎华芯泰科技有限公司成立于1993年,2021年成立江西鼎华芯泰科技有限公司,于2023年江西鼎华芯泰全面投产运营。专业研发生产高精密陶瓷线路板,pcb线路板,软硬结合板,FPC及IC载板,产品广泛应用于汽车电子,LED封装,UV光源,工功率器件,传感器,AI等高技术领域。
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
7K01 惠州市芯瓷半导体有限公司
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
官网:http://www.semi-xc.com/

惠州市芯瓷半导体有限公司专注于精密陶瓷电路产品的研发、生产、销售、服务,为半导体封装提供封装基板和封装方案。也是国内首创DPC陶瓷封装基板设计制造商,于2012年成立陶瓷基板研发中心,深耕陶瓷基板产业多年,其自主开发的3D成型DPC陶瓷基板产品填补国内空白,是第三代半导体功率器件封装、新一代晶圆级封装的理想基板。

7D49 江丰同芯半导体材料有限公司
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

 

江丰同芯成立于2022年4月,是江丰电子控股子公司,专业从事功率半导体陶瓷覆铜基板(AMB、DBC)材料相关的集研发、制造、销售。其主要产品高端覆铜陶瓷基板,已广泛应用于第三代半导体芯片和新型大功率电力电子器件IGBT等领域。
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

推荐展会:第六届精密陶瓷暨功率半导体产业链展览会

同期举办:热管理材料展

2024年8月28日-30日  

深圳国际会展中心7号馆(宝安新馆)
展出2万平米、1,000个摊位、500多家展商、50,000名专业观众;汇聚IGBT/SiC功率半导体产业链;热管理材料产业链,精密陶瓷、电子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷电路板、陶瓷封装管壳、LTCC/HTCC/MLCC加工产业链等产业链上下游企业!

一、精密陶瓷产业链:

1、陶瓷器件及材料MLCC、LTCC、HTCC、微波介质陶瓷、压电陶瓷、钛酸钡、碳酸钡、氧化钛、氧化铝、氧化锆、玻璃粉、氮化铝、LTCC介质陶瓷粉体、稀土氧化物、生瓷带等;

2、精密陶瓷:氧化锆、氧化铝、氮化铝、氮化硅、碳化硅、氧化钇、结构陶瓷、高温陶瓷、透明陶瓷、陶瓷微珠、新能源陶瓷、陶瓷轴承、陶瓷球、半导体陶瓷(搬运臂、陶瓷劈刀、静电卡盘、蚀刻环……)、3D打印陶瓷、燃料电池(SOFC)隔膜片、穿戴陶瓷、光纤陶瓷插芯、陶瓷套筒、CIM、生物陶瓷等。

3、陶瓷基板及封装外壳:陶瓷封装外壳、DPC、DBC、AMB、HTCC基板、LTCC基板、薄膜电路板、厚膜电路板、陶瓷封装基座、热沉、氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化铍、莫来石粉体及基板等;

4、金属材料:银粉、金粉、铜粉、镍粉、焊料(焊片、焊膏)、MLCC用内/外电极浆料、LTCC银浆、金浆、钨钼浆料、铜浆、靶材、无氧铜带、可伐合金、金属冲压件等;

5、助剂:陶瓷和导电浆料用分散剂、黏合剂、增塑剂、絮凝剂、矿化剂、消泡剂、润滑剂、烧结助剂等;

6、设备:

陶瓷加工设备:砂磨机、球磨机、真空脱泡机、三辊机、喷雾造粒机、干压机、流延机、注塑机、3D打印机、模具、干燥设备、研磨机、精雕机、裁片机、激光设备、打孔机、填孔机、丝网印刷机、叠层机、层压机、等静压机、热切机、整平机、排胶炉、烧结炉、钎焊设备、电镀设备、化学镀、喷银机、浸银机、端银机、真空镀膜设备、显影设备、去膜设备、蚀刻机、湿制程设备、等离子清洗、超声波清洗、自动化设备、剥离强度测试仪、AOI检测设备、打标机;

封装测试设备:贴片机、引线键合机、封盖机、平行缝焊封帽、切筋机、钎焊设备、激光调阻机、网络分析仪、热循环测试设备、测厚仪、氦气检漏仪、老化设备、外观检测、超声波扫描显微镜、X-光检测、激光打标、分选设备、测包编带机等;

7、耗材:离型膜、载带(塑料和纸质)、耐火材料、承烧板/匣钵(氧化铝、刚玉莫来石、氮化硼等)、承烧网、发泡胶、研磨耗材(金刚石微粉、研磨液)、精密网版、清洗剂、电镀药水等。

二、热管理产业链:

 

1、热管理材料:氧化铝、氮化铝、氮化硼、石墨烯、石墨、碳纳米管、空心玻璃微珠、导热粉体、散热基板、热沉(钨铜、钼铜、氮化铝、金刚石等)、铝碳化硅AlSiC、相变材料、导热凝胶、导热界面材料、导热垫片、导热胶带、灌封胶、热管/均热板;

2、散热器件:半导体制冷片(TEC)、IGBT散热器(铜、铝)、大功率晶体管散热器、通信基站散热壳体、液态金属散热器、插针式散热器等;

3、设备:压延机、涂布机、分条机、模切机、复卷机、切片机,CNC设备、压铸/冲压设备、热分析仪器、激光导热仪、导热系数仪、强度试验机、检测设备、自动化等。

三、功率半导体器件封装产业链:

1、材料:碳化硅,陶瓷衬板(DBC、AMB)、封装管壳、键合丝、散热基板(铜、铝碳化硅AlSiC)、导热硅凝胶、环氧灌封胶、焊料(预制焊片)、银膜/银膏、散热器(铜、铝)、功率引出端子(铜端子)、外壳(工程塑料PPS、PBT、高温尼龙)、清洗剂等;

2、设备及配件:真空焊接炉、贴片机、固晶机、引线键合机、X-ray、推拉力测试机、等离子清洗设备、点胶机、丝网印刷机、超声波扫描设备、动静态测试机、点/灌胶机、银烧结设备、垂直固化炉、甲酸真空共晶炉、自动封盖设备、高速插针机、弯折设备、超声波焊接机、视觉检测设备、推拉力测试机、高低温冲击设备、功率循环测试设备、打标机、检验平台、治具等;

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
展会预定:
温小姐:18126443075(同微信)
邮箱:wenxiaoting@aibang.com
扫码添加微信,咨询展会详情
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
龙小姐:18318676293(同微信)
邮箱:ab036@aibang.com

扫码添加微信,咨询展会详情

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程
DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):DBC、AMB、DPC 覆铜陶瓷基板的工艺流程

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

作者 gan, lanjie