苏州瑞霏光电科技有限公司致力于成为三维检测装备的领军企业，为先进制造提供精密的“眼睛”，基于为高端智能制造保驾护航的发展战略，公司以提升客户检测效率与产品质量为使命，以专业的技术服务和对客户业务的深入理解，为客户提供从研发到生产到质控的精密三维检测方案。
01
晶圆内应力检测仪 Strain Viewer
优势
02
多模式三维显微镜 Micro 2000
优势
√ 优越的表面粗糙度测量能力（亚纳米级至微米级）
√ 高效率大区域三维轮廓测量能力 （数微米级测量区域至百毫米级测量区域）
03
晶圆翘曲应力测量仪 Stress Mapper
优势
√ 全口径均匀采样测量，采样间隔最少可至0.1mm
√ 同时具备翘曲测量及应力测量功能
√ 直观展现薄膜导致的晶圆形变，可计算整面应力mapping和任意角度的曲率及应力
√ 强大的附加模块：薄膜应力变温测量模块（室温到500℃）
√ 丰富的软件分析功能，包括：三维翘曲图、晶圆翘曲参数统计（BOW，WARP等）、ROI分析、薄膜应力及分布、应力随时间变化、薄膜应力变温测量、曲率计算、多项式拟合、空间滤波等多种后处理算法。
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：瑞霏光电碳化硅晶圆内应力检测仪介绍
Chinese 
English