近日,位于绍兴滨海新区斗门街道临海路的上瓷时代半导体陶瓷材料和精密部件生产基地项目基础装修完成,部分设备已进场并调试完毕,正在进行小批量试产。“计划12月底前完成燃气管道的接入并投产。”项目相关负责人表示。

蚀刻机陶瓷密封环

该项目由上瓷时代(泰州)科技有限公司投资建设,共分两期建设,总投资约10亿元,将建设陶瓷材料从粉料配方到造粒、烧结、后道加工合计10条产线,主要研发氮化铝、碳化硅、氮化硅和增强高纯氧化铝陶瓷材料,研发及生产陶瓷真空吸盘、陶瓷钟罩、氮化硼陶瓷器件、高温加热氮化铝盘、高温静电卡盘、碳化硅单晶元器件等产品,旨在打造国内领先的半导体陶瓷材料和精密部件生产基地。

来源:绍兴滨海新区—潮起滨海

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作者 gan, lanjie