陶瓷封装外壳能提供芯片气密性的密封保护,使其具有优良的可靠性,具有较高的布线密度,在电、热、机械特性等方面极其稳定。陶瓷封装外壳制备以 HTCC为主流,通常是由多层陶瓷金属化底座(多层陶瓷馈通组件)和金属零件(外引线框架、封结环、散热片等)采用银铜焊料钎焊而成的。
图 陶瓷封装管壳生产工艺流程
多层陶瓷封装外壳制造工艺流程主要包括原材料制备、流延、冲孔冲腔、金属化印刷、层压、热切、烧结、镀镍、钎焊、镀金等。
1. 浆料制备
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陶瓷基座的制作采用高熔点的钨金属,而钨金属不具有可焊性和可键合性,所以需要对陶瓷表面金属化区域进行改性,使其具有可焊性、可键合性,便于钎焊金属零部件。对陶瓷表面金属化区域改性最常用的方法有电镀和化学镀。
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陶瓷管壳制备以 HTCC为主流,通过印刷W、Mo等高温导电浆料作为导体。这些导体在空气中容易氧化,使其润湿性和可焊性变差。一般通过镀Au 进行表面修饰,形成保护层,从而避免表面导体的氧化和腐蚀。
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原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍
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