陶瓷封装虽然在整个封装行业里占比不大,却是性能比较完善的封装方式,属于气密性封装,具有更低热阻、高散热性能力,可以确保芯片和电路不受周围环境影响,因而它适用于高可靠、耐高温、气密性强的产品封装。

陶瓷封装外壳能提供芯片气密性的密封保护,使其具有优良的可靠性,具有较高的布线密度,在电、热、机械特性等方面极其稳定。陶瓷封装外壳制备以 HTCC为主流,通常是由多层陶瓷金属化底座(多层陶瓷馈通组件)和金属零件(外引线框架、封结环、散热片等)采用银铜焊料钎焊而成的。

HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍

图 陶瓷封装管壳生产工艺流程

多层陶瓷封装外壳制造工艺流程主要包括原材料制备、流延、冲孔冲腔、金属化印刷、层压、热切、烧结、镀镍、钎焊、镀金等。

1. 浆料制备

粉体研磨,搅拌脱泡,形成陶瓷浆料;
2. 流延成形
浆料脱泡后流延成形,加热固化成为生瓷带;
3. 裁片
裁片机将卷状生瓷带按照一定尺寸裁成片状,裁切的尺寸要比所需要的尺寸略大,以便满足后面的加工;
4. 冲孔冲腔
冲孔机/激光打孔机在生瓷片上加工通孔和空腔;
5. 印刷
印刷机在生瓷片上印刷金属浆料(W、Mo等),包括层图案和孔内金属化;
6. 叠层
将已印刷电路图形的生瓷片按预先设计的层数和次序,依次放入紧密叠片模具中,保证对位精度;
7. 等静压
为使叠层后的生瓷体在排胶烧结时不起泡分层,对生瓷体进行等静压;
8. 热切
使用切割机将bar块切割为符合预设尺寸的单体;
9. 排胶烧结
经过排胶和烧结形成高强度的金属化陶瓷;
10. 镀镍
烧结后的陶瓷镀镍,为钎焊焊料提供浸润结合层;
  • 陶瓷基座的制作采用高熔点的钨金属,而钨金属不具有可焊性和可键合性,所以需要对陶瓷表面金属化区域进行改性,使其具有可焊性、可键合性,便于钎焊金属零部件。对陶瓷表面金属化区域改性最常用的方法有电镀和化学镀。
11. 组装钎焊
使用夹具定位组装,经过真空钎焊炉将各金属件与陶瓷焊接在一起;
12. 镀镍-镀金
组装完成的产品镀镍-镀金;
  • 陶瓷管壳制备以 HTCC为主流,通过印刷W、Mo等高温导电浆料作为导体。这些导体在空气中容易氧化,使其润湿性和可焊性变差。一般通过镀Au 进行表面修饰,形成保护层,从而避免表面导体的氧化和腐蚀。
13. 检测
产品检测。
艾邦建有陶瓷封装全产业链微信群,欢迎陶瓷封装产业链上下游加入,请您识别二维码加入。

HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入群聊

推荐活动:2025年8月26-28日,第七届精密陶瓷暨功率半导体产业链展览会将于深圳举办!

展会预定:

 

温小姐:18126443075(同微信)
邮箱:ab057@aibang.com

扫码添加微信,咨询展会详情

HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍

 

龙小姐:18318676293(同微信)
邮箱:ab036@aibang.com

扫码添加微信,咨询展会详情

HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍

原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):HTCC陶瓷封装外壳主要生产工艺流程介绍

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

作者 gan, lanjie