2025年01月16日，Nippon Kornmeyer Carbon Group GmbH（NKCG ）和 Fraunhofer IISB合作推出了针对半导体领域的碳化钽 (TaC) 涂层TACCOTA®专利技术。
石墨具有耐高温(熔点3850℃)、较高的导热导电性能等优点。但是，石墨在高温下遇氧易被氧化，而且会被熔融金属等腐蚀。据介绍，碳化钽涂层TACCOTA®耐高温耐腐蚀涂层可应用于石墨基材，有效保护半导体生产加工中使用的石墨部件，用于半导体材料生产和加工。它可保护石墨部件在典型的高温和反应性气体工艺（如 SiC 和氮化物 PVT 晶体生长和外延、离子注入和等离子处理）中免受分解和腐蚀。其好处是延长使用寿命并降低拥有成本。该工艺技术允许调整所需的涂层特性，如厚度和成分（即与其他高温陶瓷材料混合）。
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