2月6日，武汉蛇年新春“第一会”——全市科技创新大会举行。大会发布了2024武汉市十大科技创新产品，芯陶科技静电卡盘入选。
静电卡盘是芯片制造过程中系列关键设备的核心部件，国产静电卡盘关乎芯片产业链安全稳定。湖北芯陶科技有限公司攻克了静电卡盘用高纯超细氧化铝粉体、有序相多孔陶瓷、贴合胶等核心原料以及静电卡盘脱泡、烧结、涂布等关键工艺技术，研发了多款难度极高的芯片制造用静电卡盘，打破了国外垄断，实现芯片制造用静电卡盘自主可控。
来源：武汉经济技术开发区
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