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2025年04月08日,苏州珂玛材料科技股份有限公司(珂玛科技,301611)发布2024 年年度报告,报告显示,珂玛科技在2024年度及 2023年度先进陶瓷材料零部件的营业收入分别为 76,819.56万元和 39,488.53 万元,2024年比去年同期增长94.54%。其中,半导体领域是珂玛科技产品的主要应用方向,在 2024年度及 2023年度来自半导体设备领域的先进陶瓷材料零部件收入分别为 69,188.96万元和 22,618.56 万元,占先进陶瓷材料零部件收入的比例分别为90.07%和57.28%,2024年比去年同期增长205.89%。

半导体设备是半导体产业的基础支撑,其中前道工艺主要完成晶圆制造,该等工艺设备类型繁杂,技术难度较高。半导体设备由腔室内和腔室外组成,陶瓷大部分用在更接近晶圆的腔室内,其技术要求严苛,须在先进陶瓷材料性能、硬脆难加工材料精密加工及新品表面处理等方面满足客户要求。珂玛科技先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备,目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备,是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。
半导体设备用先进陶瓷包括圆环圆筒、气流导向、承重固定和手爪垫片等结构件产品,以及陶瓷加热器、静电卡盘以及超高纯碳化硅套件等高难度“功能-结构”一体模块化产品。珂玛科技在半导体设备用高纯度氧化铝、高导热氮化铝零部件等“卡脖子”产品方面实现了国产替代,多项关键技术指标达到国内领先、国际主流水平。同时,公司亦是目前国内少数有多种陶瓷材料和产品通过国际头部半导体设备厂商A公司认证且被其批量采购的先进结构陶瓷企业之一。

2024 年度,得益于中国半导体市场整体复苏,中国半导体产业规模的快速增长以及设备关键零部件国产化的不断推进,下游半导体领域客户采购需求快速增长,带动了珂玛科技先进陶瓷材料结构件产品在半导体领域销售收入规模的增长。半导体领域结构件产品,2024 年销售收入比去年同期增长 106.52%。

2024 年,半导体设备领域收入的增加也得益于公司“功能-结构”一体模块化产品的大规模量产。基于多年技术积累、研发及产业化布局,珂玛科技半导体设备核心部件陶瓷加热器实现国产替代,该“结构-功能”一体模块化产品解决了半导体晶圆厂商 CVD 设备关键零部件的“卡脖子”问题。珂玛科技为半导体晶圆厂商和国内半导体设备厂商研发生产并销售多款陶瓷加热器产品,装配于 SACVD、PECVD、LPCVD 和激光退火等设备,部分陶瓷加热器产品已量产并大量应用于晶圆的薄膜沉积生产工艺流程。同时,静电卡盘与超高纯碳化硅套件也逐步量产,并在报告期内形成了一定的收入。半导体领域“功能-结构”一体模块化产品,2024年销售收入比去年同期增长809.81%。2024 年,受国内消费电子行业温和复苏和光伏产能相对过剩影响,珂玛科技来自显示面板、LED和光伏等其他泛半导体的结构件产品的收入有所下降,相应的产能被转移到用于满足半导体领域的需求。

珂玛科技先进陶瓷材料零部件应用的其他领域包括能源环保、汽车生产、纺织和生物医药等领域。

此外,珂玛科技募投项目建设稳步推进。位于江苏苏州的先进材料生产基地项目、研发中心建设项目已经完成基建,建筑面积达到 8.2 万平方米,正处于设备购置和安装调试过程中,未来将主要用于生产陶瓷加热器和静电卡盘等“结构-功能”一体化模块产品。位于四川眉山的泛半导体核心零部件加工制造项目就近服务成渝地区大客户,于 2024 年基建完成。此外,安徽珂玛碳化硅材料8,300平米厂区已于2024年投产。

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