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近日,国投创业完成对国内高端半导体电子陶瓷与精密零部件领军企业无锡海古德新技术有限公司(以下简称“海古德”)的领投。此次投资旨在推动高端半导体材料和设备精密零部件自主创新,加速实现国产替代。

海古德是一家集高端半导体电子陶瓷及精密零部件的设计、研发、生产与销售为一体的现代化高新技术企业,核心产品包括陶瓷静电卡盘、陶瓷基板、精密陶瓷部件等。

静电卡盘是多个半导体前道核心设备中的核心零部件,目前已经成为应用最广泛的晶圆夹持工具,是等离子刻蚀、湿法刻蚀、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等多个半导体前道核心设备中的核心零部件。目前静电卡盘由国外厂商垄断的比例超过90%,随着美日对华半导体管制不断加码,静电卡盘存在被“卡脖子”的风险。

▲海古德产品系列

海古德核心业务聚焦于氮化铝、氮化硅和碳化硅三大前沿材料,凭借深厚的技术底蕴与创新能力,公司成功研发出高性能氮化铝陶瓷基板、高性能氮化硅陶瓷基板、静电卡盘、加热盘、全陶瓷加热器、高纯碳化硅精密陶瓷件等一系列半导体核心封装材料和关键零部件,目前已在多家半导体设备制造企业实现批量化供应,为国内企业提供了稳定可靠的国产替代方案。

借助本次投资,海古德将持续拓展泛半导体先进陶瓷材料体系及应用领域,致力于为客户提供更加全面、优质的产品系列,不断加大研发投入,深化技术创新,全力提升产品性能与服务质量,以契合高端半导体电子陶瓷与精密零部件的日益增长且不断升级的市场需求。

国投创业观点

海古德团队在高性能电子陶瓷材料行业深耕多年,积累了丰富的行业经验和技术专长,在粉体配方、流延、成型、烧结等关键生产环节,形成了深厚的工艺沉淀和持续的技术创新能力,构建了全方位的核心竞争优势。这些优势不仅保障了产品的卓越性能和品质,也为打破国外垄断奠定了坚实基础。通过本轮投资,国投创业将支持海古德扩大半导体陶瓷零部件产能,加快高端半导体陶瓷和半导体核心陶瓷零部件的国产化进程。

关于国投创业

国投创业成立于 2016 年,是国家开发投资集团有限公司为落实国家创新驱动发展战略,深化与科技部全面战略合作,加快推动国家科技成果转移转化,按照市场化方式专门设立的创业投资基金管理公司。国投创业通过国家科技重大专项成果转化基金、国投京津冀科技成果转化基金、国投高新(深圳)创投基金、国投(宁波)科技成果转化基金、国投(广东)科技成果转化基金等平台,始终围绕科技成果转化投资目标,聚焦先进制造、电子信息、生物医药、材料能源等关键领域,着眼京津冀、长三角、粤港澳大湾区等国家区域发展战略布局,持续推动关键核心技术自主创新不断实现突破,构建良好的科技成果转化投资生态体系。

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作者 ab, 808

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